[实用新型]一种新型的双向密封高真空挡板阀

说明书

本实用新型公开了一种新型的双向密封高真空挡板阀，包括气缸、上部法兰盘以及一体式缸体，本实用新型的高真空挡板阀全体为不锈钢三通结构，不易损坏，装配轻便，降低维修成本，另外密封方式采用上下双密封式结构，在挡板阀工作时，直连气缸会把密封挡板打到不锈钢三通最上方，保护密封气缸的中心轴不被等离子气体腐蚀。上部法兰盘中间位置留有一个内置的密封圈和两个上置的油封，有效的提高了挡板阀的密封性，整套结构有效的提高了挡板阀的使用寿命和性能。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种用于等离子处理设备的新型的双向密封高真空挡板阀。

背景技术

真空阀门是真空系统中用以调节气流量、 切断或接通管路的元件。 高真空挡板阀以压缩空气为动力， 通过电磁换向阀改变气路方向， 执行气缸驱动挡板阀启闭运动，适用于1.3×10-3Pa~1.0×105Pa真空系统中用以开启或隔断气流。 挡板阀具有结构简单，开闭时间短， 安全可靠， 坚固耐用， 并且可以自动控制等优点， 被广泛应用于电子、 化工、 冶金、 航空、 航天、 材料、 生物医药、 原子能、 宇宙探测等高科技领域。 高真空气动挡板阀的气缸直径及活塞杆的设计十分重要， 挡板阀在开闭时， 若气缸及活塞杆直径设计不合理则会导致阀门产生密封效果差、 使用寿命时间短等问题。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种新型的双向密封高真空挡板阀，能够提高挡板阀的使用寿命和性能。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型的双向密封高真空挡板阀，包括气缸、上部法兰盘以及一体式缸体，所述一体式缸体为三通结构，其上端出口上安装上部法兰盘，其下端出口为排气口，所述一体式缸体的侧面出口为外接式抽气口，所述气缸的端部连接设置一伸缩连接杆，所述伸缩连接杆的下端连接密封挡板，所述密封挡板在伸缩连接杆的带动下在一体式缸体内上下移动，所述密封挡板呈台阶状设置，其上台阶上设有放置密封圈的上密封圈槽，下台阶下面设有放置密封圈的下密封圈槽，所述密封挡板位于排气口处时，下密封圈槽的密封圈与排气口内侧壁密封连接，所述密封挡板向上移动靠近上部法兰盘时，上密封圈槽的密封圈与上部法兰盘底面密封连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述上部法兰盘的中间位置设有一个内置的密封圈，还有两个上置的油封，内置的密封圈与伸缩连接杆密封接触，上置的油封与气缸下端面密封接触。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的高真空挡板阀全体为不锈钢三通结构，不易损坏，装配轻便，降低维修成本，另外密封方式采用上下双密封式结构，在挡板阀工作时，直连气缸会把密封挡板打到不锈钢三通最上方，保护密封气缸的中心轴不被等离子气体腐蚀。上部法兰盘中间位置留有一个内置的密封圈和两个上置的油封，有效的提高了挡板阀的密封性，整套结构有效的提高了挡板阀的使用寿命和性能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构剖视图；

图中标示：1-气缸；2-上部法兰盘；3-一体式缸体；4-排气口；5-外接式抽气口；6-伸缩连接杆；7-密封挡板；8-上密封圈槽；9-下密封圈槽；10-内置的密封圈；11-上置的油封。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。