[实用新型]LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置有效
申请号: | 201922348874.7 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN211062698U | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 狄建科;秦松;刘雪;胡斌 | 申请(专利权)人: | 苏州展德自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 扩张 自动 抓取 压装裁切 装置 | ||
1.LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:包括外环张紧机构和外环压装裁切机构,所述外环张紧机构包含固定板(8)、转轴(6)、分度板(1)和导向板(9),安装于固定板(8)上的电机(23)与转轴(6)驱动连接,导向板(9)连接于转轴(6)的底端,导向柱(22)的上端连接于固定板(8)上,下端连接压板(7),分度板(1)位于压板(7)与导向板(9)之间,分度板(1)的中心孔配装有轴承(17),轴承(17)的内圈与转轴(6)配合,分度板(1)内侧凸设的圆台部与压板(7)连接,分度板(1)的上平面上沿周向设有多个径向滑槽,每一径向滑槽中配置一滑块(11),滑块(11)位于分度板(1)与压板(7)之间;导向板(9)上沿周向设有多个腰形孔,腰形孔两端的半圆弧的中心位于不同直径的圆弧轨迹上,与腰形孔相对应的分度板(1)上开设有通孔,沿轴向安装的导向销(10)穿过导向板上腰形孔和分度板上通孔,上端与滑块(11)的内侧端连接,下端置于腰形孔中,转轴(6)带动导向板(9)转动,推动腰形孔中的导向销(10)运动,进而带动滑块(11)沿径向滑动,使滑块(11)外侧端连接的弧形支撑板(12)沿径向运动;
所述外环压装裁切机构包含连接板(4)、外环压环(2)以及冲裁刀(15),连接板(4)位于压板(7)之上,安装于固定板(8)上的气缸(29)的活塞杆与连接板(4)驱动连接,连接板(4)的外侧连接外环压环(2),外环压环(2)的底端安装有冲裁刀(15),气缸(29)可驱动外环压环(2)及冲裁刀(15)运动。
2.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:固定板(8)连接于支柱(16)上,支柱(16)固定于上连接板(3)上。
3.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:导向板(9)上沿周向均匀间隔设有8个腰形孔,相对应地,分度板(1)的上平面上沿周向均匀间隔设有8个径向滑槽。
4.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:固定板(8)上设有两只导向柱(22),呈左右对称分布。
5.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:固定板(8)上安装有两只气缸(29),呈左右对称分布。
6.根据权利要求5所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:左右两只气缸的活塞杆通过浮动接头(30)与连接板(4)驱动连接。
7.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:转轴(6)上套装有传感器遮片(13),与其正对的压板上设置有传感器。
8.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:连接板(4)上设有供导向柱(22)穿过的导向孔,导向孔中安装有与导向柱(22)配合的直线轴承。
9.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:电机(23)的主轴通过联轴器(24)与转轴(6)驱动连接。
10.根据权利要求1所述的LED晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置,其特征在于:冲裁刀(15)的刀口呈锯齿状。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造