[实用新型]一种千级无尘室空调系统

说明书

为了解无尘室能具有更好的的洁净度、温湿度及压力等性能的问题，本实用新型提出一种千级无尘室空调系统，其包括：新风系统和室内壳体，室内壳体的顶部设有送风口，送风口的下方设有洁净送风单元FFU，其特征在于：洁净送风单元FFU满布在室内壳体内部顶端，每个洁净送风单元FFU的内部设有电机，室内壳体的两侧设有技术夹道，技术夹道靠近洁净送风单元FFU处设有干盘管，干盘管连接技术夹道和顶部静压箱，排风管连接有第二风机，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端满布洁净送风单元FFU，空气由上往下均匀送风，在制程中所产生的尘埃可快速被FFU中高效过滤器捕获，工艺生产中产生的废气颗粒物接入排风管道排出室外。

技术领域

本实用新型涉及无尘室领域，较为具体的，涉及到一种千级无尘室空调系统。

背景技术

无尘室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排出，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性，洁净室主要用于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。

随着人们对产品质量的要求的提高，对于产品所在的无尘室的要求也相应的提高了，如何使得无尘室的更洁净，恒温恒湿的控制更好，是当下急需要解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，为了解不论外在的空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求温湿度及压力并具有更好的洁净度等性能的问题，本实用新型提出一种千级无尘室空调系统，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端满布洁净送风单元FFU4，空气由上往下均匀送风，颗粒物在通过FFU4中高效过滤器被捕获可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速被高效过滤器捕获，其中一部分接入排风管道排出室外而不会影响其它工作区域，并由高架地板回风至技术夹道，将污染空气逐渐稀释，洁净度更高，循环空气通过干盘管加热回流使得无尘室室内壳体内部恒温恒湿效果更好。

一种千级无尘室空调系统，其包括：新风系统1和室内壳体2，室内壳体2的顶部设有送风口3，送风口3的下方设有洁净送风单元FFU4，其特征在于：洁净送风单元FFU4满布在室内壳体2内部顶端，每个洁净送风单元FFU4的内部设有电机5和高效率高效空气过滤器，室内壳体2的两侧设有技术夹道6，技术夹道6靠近洁净送风单元FFU4处设有干盘管7，所述干盘管 7连接技术夹道6和顶部静压箱，排风管8连接有第二风机81和室内工艺排风管道及排风设备。

进一步的，洁净送风单元FFU4上方与送风口3的下方的腔为静压箱，通过干盘管7循环的部分气流在静压箱内被压入洁净送风单元FFU4。

进一步的，恒温的温度正常在22±2℃，恒湿的湿度正常在55±5％。根据工艺要求温度，湿度和洁净度可以通过PLC空调自控系统自主设置。

进一步的，新风系统1包括：初效过滤器11、中效过滤器12、表冷段 13、加热段14、第一风机15、加湿器16、亚高效过滤器18和均流板17，空气依次通过初效过滤器11、中效过滤器12后选择表冷段13或者加热段14 至室内壳体2的温度，随后经过风机鼓吹至加湿器16进行除味加湿后经过亚高效过滤器18过滤后经过均流板17均匀的吹至室内壳体2的送风口3。

进一步的，排风管8设置在室内壳体2的一侧技术夹道6中，通过排风口和排风调节阀将生产工艺产生的废气，热量和颗粒物通过排风管8排至室外，绝大部分循环气流穿过干盘管7加热后回流至顶部静压箱，再通过洁净送风单元FFU4中高效过滤器过滤后不停循环下去。

进一步的，通过新风系统1输送至室内壳体2内部的风量大于等于通过排风管8道排至室外的风量。

进一步的，室内壳体2内部低于水平地面30mm～60mm处满布高架地板9，有利于透风。