[实用新型]一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构有效
申请号: | 201922347130.3 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN210778644U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 曲广福;陈福俭;李岩;李占贤;朱凯 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/687 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工艺 室内 夹紧 位置 补偿 机构 | ||
1.一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,包括分别设置在舟组行进方向两侧的夹紧机构;所述舟组包括多个呈阵列排列的金属舟、插在所述金属舟上的多个电池片组和承载多个所述金属舟的金属舟托盘,所述舟组行进方向为列方向,垂直于所述舟组行进方向为行方向;所述夹紧机构包括分别设置在所述舟组行进方向两侧的夹板和驱动所述夹板沿垂直于所述舟组行进方向运动的驱动装置;所述夹板覆盖最外侧一列的全部所述金属舟的侧壁;所述驱动装置均包括水平设置的丝杠,所述丝杠的轴线方向垂直于所述舟组的行进方向,靠近所述夹板的所述丝杠的丝杆穿入工艺炉腔室内并与所述夹板的中心连接;所述夹板的四周分别与穿入所述工艺炉腔室内的导向轴的一端固定连接,且所述导向轴的轴线方向与所述丝杠的轴线方向平行;所述工艺炉腔室的外壁上固定有与所述丝杠的丝杠螺母连接的驱动电机,其特征在于:
所述丝杆通过主补偿机构与所述夹板的中心连接;
所述主补偿机构包括固定在所述夹板上的中心弹簧安装套,所述中心弹簧安装套内安装有中心弹簧,且所述中心弹簧的轴线与所述丝杠的轴线重合,且所述中心弹簧的一端与所述夹板连接,所述中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接,所述丝杆靠近所述夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与所述中心弹簧衬环通过螺栓固定连接;
两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。
2.根据权利要求1所述的一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,其特征在于:
所述抽气板在其靠近所述金属舟的一侧具有补偿板,且所述补偿板覆盖其所靠近的那列金属舟中除去第一行和最后一行的全部金属舟;且此抽气板上加工有与所述补偿板相匹配的凹槽,所述补偿板设置在所述凹槽内;
所述补偿板在每列所述金属舟所正对的位置均固定有两个呈上下分布的副补偿机构,且所述副补偿机构包括固定在所述抽气板上的补偿弹簧安装套,且所述补偿弹簧安装套内安装有补偿弹簧,所述补偿弹簧的轴线与所述丝杠的轴线平行,且所述补偿弹簧的一端与所述补偿弹簧安装套连接,所述补偿弹簧的另一端与设置在所述补偿弹簧安装套内的补偿弹簧衬环连接,固定在所述补偿板上的补偿轴远离所述补偿板的一端穿入所述补偿弹簧安装套内与所述补偿弹簧衬环连接。
3.根据权利要求2所述的一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,其特征在于:所述补偿轴上加工有圆锥面Ⅰ,且所述圆锥面Ⅰ的大端靠近所述补偿弹簧,所述补偿弹簧安装套在所述补偿轴穿入处加工有与所述圆锥面Ⅰ相配合的圆锥面Ⅱ。
4.根据权利要求2所述的一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,其特征在于:所述补偿轴为两半式组合结构。
5.根据权利要求2所述的一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,其特征在于:所述补偿轴轴向穿过所述抽气板处与所述抽气板之间具有间隙。
6.根据权利要求1所述的一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,其特征在于:所述丝杠上套有丝杠防尘套,且所述丝杆在所述工艺炉腔室内的部分套接有不锈钢波纹管,所述匀流板和所述抽气板在所述导向轴所穿过处安装有与所述导向轴相配合的摩擦副。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的