[实用新型]一种真空退火炉

说明书

本实用新型公开了一种真空退火炉，包底座和炉体，所述炉体的底部设有支撑柱，所述支撑柱远离炉体的一端与底座连接，所述炉体的开口端通过转轴铰接有炉门，所述炉体的内部设有加热腔，所述加热腔的内壁上端设有加热元件，所述加热腔的外表面设有保温层，所述保温层的外表面设有降温层，所述炉体的两侧均设有氮气泵，所述氮气泵的出气口连接有出气管，所述出气管上均匀设有出气孔，所述底座上设有位于炉体一侧设置的冷水箱，所述冷水箱上设有水泵，所述水泵的抽水口连接有伸入降温层内的螺旋冷凝管，所述螺旋冷凝管贴合套设在保温层外侧面设置，本实用新型与现有技术相比的优点在于：工件件冷却时间短且具炉体有良好的气密性。

技术领域

本实用新型涉及渔具技术领域，具体是指一种真空退火炉。

背景技术

真空退火炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中退火、合金及烧结等工艺，该工艺能够显著改善材料表面的性能，提高材料表面纯度，提高材料的疲劳强度、塑性、韧性和耐腐蚀性等参数，是材料改性方面高精度、优质、节能和清洁无污染的加工制造技术，是当今制造技术的重要领域和工艺发展的热点领域，但是现有的真空退火炉由于具备保温层和加热腔，所以冷却时间过长，工件退火后的硬度、韧性等机械性能指标不易达到工艺要求，产品质量难以保证，同时气密性得不到很好的控制同样会造成工件不达标的情况。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种真空退火炉，此种真空退火炉对加热腔与保温层进行同时降温，可大大缩短工件的冷却时间且具有良好的气密性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种真空退火炉，包底座和炉体，所述炉体的底部设有支撑柱，所述支撑柱远离炉体的一端与底座连接，所述炉体的开口端通过转轴铰接有炉门，所述炉体的内部设有加热腔，所述炉体上设有与加热腔连通的真空阀，所述加热腔的内壁上端设有加热元件，所述加热腔的底部设有工件框，所述加热腔的外表面设有保温层，所述保温层的外表面设有降温层，所述炉体的两侧均设有氮气泵，所述氮气泵的出气口连接有伸入加热腔内的出气管，所述出气管上均匀设有出气孔，所述底座上设有位于炉体一侧设置的冷水箱，所述冷水箱上设有水泵，所述水泵的抽水口连接有伸入降温层内的螺旋冷凝管，所述螺旋冷凝管贴合套设在保温层外侧面设置，所述螺旋冷凝管远离水泵的一端与冷水箱连通，所述水泵的出水口通过水管与冷水箱连通。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型通过氮气泵向加热腔内通入氮气，可使加热腔达到快速降温的目的，同时通过启动水泵，由于螺旋冷凝管与水泵的抽水口连接且螺旋冷凝管的抽水口与冷水箱连通，所以冷水箱中的冷水在水泵的作用下流经螺旋冷凝管并从水泵的出水口再次回到冷水箱内，在循环利用冷水的同时又使螺旋冷凝管内的冷水处于流动的状态，便于快速地使保温层降温，从而达到加热腔与保温层进行同时降温，可大大缩短工件的冷却时间。

作为改进，所述炉体远离炉门一端的外端面上设有电机，所述电机的输出轴连接有位于加热腔内的风扇，风扇的设置可使工件在加热的过程中加热元件产生的热气处于流动状态，从而使工件得到充分加热，同时在冷却过程中可使氮气处于流动状态，可是加热腔快读降温。

作为改进，所述炉门上圆周设有连接耳，所述炉体靠近炉门的外侧面圆周设有L型板，所述L型板上螺纹连接有与连接耳螺纹配合的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓远离连接耳的端部设有转把，通过旋拧转把使炉门紧贴炉体开口处设置，防止加热腔内的气体从炉门与炉体的连接缝处溢出。

作为改进，所述炉门的外端面设有把手且炉门的内端面设有密封圈，密封圈的设置进一步防止加热腔内的气体溢出。

作为改进，所述冷水箱的顶部和底部分别设有进水口和排水口，所述进水口和排水口上均设有阀门，进水口和排水口的设置便于冷水箱内冷水的更换。

作为改进，所述底座的底部设有减震垫，减震垫的设置可防止整个真空退火炉在工作时出现震动的现象。