[实用新型]一种旋转靶检测装置有效
| 申请号: | 201922322833.0 | 申请日: | 2019-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN210952670U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
| 发明(设计)人: | 郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号: | G01B5/25 | 分类号: | G01B5/25;G01B5/252 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
| 地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 旋转 检测 装置 | ||
1.一种旋转靶检测装置,其特征在于:包括分别安装于旋转靶(10)两端口的检测盖(20)和检测杆(70),检测盖(20)设置有安装腔(21),安装腔(21)的形状与旋转靶(10)端口形状相适应,安装腔(21)的内侧设置有内螺纹(22),旋转靶(10)的端口设置有安装螺纹(11),内螺纹(22)的形状与安装螺纹(11)形状相适应,检测盖(20)的一端开设有安装通孔(24),检测杆(70)设置有内杆部(71)和手杆部(72),手杆部(72)设置在内杆部(71)的两端,内杆部(71)的外侧面与旋转靶(10)的内壁间隙配合,手杆部(72)的外侧形状与安装通孔(24)的内侧形状相适应,检测盖(20)、安装通孔(24)与检测杆(70)同轴配合。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述检测盖(20)设置有安装盖(30),所述安装腔(21)和所述内螺纹(22)设置于安装盖(30),安装腔(21)的底部设置有抵顶面(31),抵顶面(31)与所述旋转靶(10)的端口的端面抵顶配合。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述检测盖(20)设置有固定限位盖,所述安装通孔(24)设置于固定限位盖,所述安装腔(21)的底部设置有连接口(23),固定限位盖固定于安装盖(30)设置有连接口(23)的一侧,连接口(23)等于或大于所述安装通孔(24)。
4.根据权利要求3所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述固定限位盖包括固定盖(40)、限位部(50)和旋转部件(60),限位部(50)一侧的中部设置有旋转腔(51),旋转部件(60)固定安装于旋转腔(51),旋转部件(60)的中部开设有旋转孔(61),限位部(50)的另一侧固定安装有固定盖(40),固定盖(40)的中部开设有插入孔(41),旋转孔(61)和插入孔(41)连接形成所述安装通孔(24),固定盖(40)、限位部(50)和旋转部件(60)同轴安装。
5.根据权利要求4所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述固定盖(40)、限位部(50)和所述安装盖(30)分别设置连接孔(25),固定盖(40)、限位部(50)和所述安装盖(30)的连接孔(25)的位置对应设置,固定盖(40)、限位部(50)和所述安装盖(30)的连接孔(25)分别对应连接。
6.根据权利要求4所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述旋转腔(51)的一侧开设有限位孔(52),另一侧为安装开口端,限位孔(52)大于所述旋转孔(61),限位孔(52)小于所述旋转部件(60)安装于旋转腔(51)时的投影面积,所述旋转腔(51)的内轮廓形状与所述旋转部件(60)形状相适应,所述固定盖(40)覆盖固定于安装开口端。
7.根据权利要求6所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述固定盖(40)与所述旋转腔(51)围合形成部件安装空间,旋转部件(60)安装于部件安装空间内。
8.根据权利要求2所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述内杆部(71)的两端的端面分别抵顶所述检测盖(20)的所述抵顶面(31),所述手杆部(72)插入所述安装通孔(24),手杆部(72)沿安装通孔(24)延伸至所述检测盖(20)的外侧。
9.根据权利要求8所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述手杆部(72)的直径与所述安装通孔(24)的直径相等。
10.根据权利要求1所述的一种旋转靶检测装置,其特征在于:所述内杆部(71)的外壁与所述旋转靶(10)内壁的间隙设置在0.2mm至0.3mm。
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