[实用新型]晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置

说明书

一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其结构简明，方便使用，能充分使得药液均匀且保证较高的药液质量。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置。

背景技术

超声波是一种频率高于20000赫兹的声波，它的方向性好，穿透能力强，易于获得较集中的声能，在水中传播距离远，可用于测距、测速、清洗、焊接、碎石、杀菌消毒等，被广泛应用于医学、军事以及工农业上。

电镀是指在含有欲镀金属的盐类溶液中，以被镀基体金属为阴极，通过电解作用，使镀液中欲镀金属的阳离子在基体金属表面沉积出来，形成镀层的一种表面加工方法，现有的电镀装置在工件表面积较大时，会使工件表面中间部位镀层较薄而边缘镀层较厚，影响电镀的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置。

为实现以上目的，通过以下技术方案实现：

一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液。

优选地，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周。

优选地，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。

优选地，所述电镀槽或所述清洗槽的底面之下设有超声波放置槽，所述超声波放置槽包围于所述超声波发生器以及多个所述电声换能器外。

优选地，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述电镀槽上分别设有进液口以及出液口，所述药液循环加热单元分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述药液循环加热单元包括药液加热泵以及药液过滤器。

优选地，所述药液循环加热单元设有进液管以及出液管，所述进液管连通于所述进液口，所述出液管连通于所述出液口，所述出液管连通于所述药液加热泵，所述药液加热泵通过连接管连通于所述药液过滤器，所述进液管与所述药液过滤器连通。

优选地，所述药液加热泵包括间隔设置的第一加热泵以及第二加热泵。

优选地，所述电镀槽的顶部敞开且设有槽盖，所述槽盖围设于所述电镀槽的顶部四周，所述槽盖上设有可开启的窗口。

优选地，所述电镀槽的外壁上凸设有出液槽，所述出液口开设于所述出液槽上进而与所述出液管连通，所述出液槽设于所述槽盖下且与所述电镀槽敞开的顶部连通。

优选地，所述槽盖与所述电镀槽的顶部上下贯通，所述槽盖的底面四周设有底外缘，所述电镀槽的顶部穿出所述底外缘，所述底外缘上设有多个导孔进而与所述出液槽导通。

优选地，所述槽盖的顶面敞开且设有可打开的盖板。

优选地，至少两个所述盖板通过铰链结构或连杆结构可对扇开启地安装于槽盖的顶面。