[实用新型]一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置

权利要求书

1.一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置，包括反射镜片，成像镜片，同轴结构、视觉光源及振镜，激光光束从紫外激光器发出后沿轴向经过扩束镜，透过45度反射镜，依次经过振镜镜片，再透过场镜，聚焦后照射到工件上，从而对工件进行精密的加工；为了使避免因为工件运动带来的位置误差，将工件固定于工作台上，继而采用振镜，振镜的两个偏振电机带动两个偏振镜片运动来实现激光光束的二维平面运动，从而对工件进行加工；

其特征在于，为了消除因人工每次上料时工件的位置误差，设置了同轴CCD视觉系统，采用一个镀355nm波长高透可见光高反的膜层的45度反射镜安装于激光光束的轴向上，工件经光源照射后反射光线沿激光光束逆向入射到45度反射镜上，反射后进入设计为消除场镜球差的成像镜片，再传输到CCD工业相机成像，图像经过工控机处理后转化为X轴偏振电机和Y轴偏振电机的角度坐标值，用于修正工件位置误差。

2.根据权利要求1所述的一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置，其特征在于，CCD工业相机通过45°的镀355nm波长高透可见光高反的膜层的镜片，实现与激光同轴。

3.根据权利要求1所述的一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置，其特征在于，CCD工业相机的成像镜片，通过设计为针对振镜场镜来消除球差的复合成像镜片，使得CCD工业相机能够高清成像。