[实用新型]一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置

权利要求书

1.一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置，其特征在于：包括底座(100)、箱体(200)、电机(300)、气泵(400)和连接法兰(500)，所述底座(100)的顶部中央位置固定安装有箱体(200)，所述箱体(200)的内腔顶部左侧固定安装有温度传感器(210)，所述箱体(200)的内腔左右侧壁中央位置固定安装有加热器(220)，所述箱体(200)的右侧底部固定安装有控制器(230)，所述箱体(200)的内腔底部中央位置固定安装有电机(300)，所述电机(300)的顶部动力输出端固定安装有转轴(310)，所述转轴(310)的顶部固定安装有反应器(320)，所述箱体(200)的右侧顶部固定安装有气泵(400)，所述气泵(400)的左侧动力输出端固定安装有输气管(410)，所述输气管(410)另一端连接反应器(320)，所述箱体(200)的内腔顶部中央位置固定安装有连接法兰(500)，所述反应器(320)位于连接法兰(500)的底部，所述温度传感器(210)、加热器(220)、电机(300)、反应器(320)和气泵(400)电性连接控制器(230)。

2.根据权利要求1所述的一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述底座(100)的底部左右两侧均焊接有固定柱(110)，所述固定柱(110)的底部套接有防护垫。

3.根据权利要求1所述的一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述箱体(200)的顶部中央位置开有进料口(240)，所述进料口(240)位于连接法兰(500)的顶部，所述进料口(240)的顶部固定安装有密封板(250)。

4.根据权利要求1所述的一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述反应器(320)的顶部左侧固定安装有出气口(330)，所述反应器(320)的内腔底部固定安装有挡板(340)，所述反应器(320)的左侧中央位置固定安装有连接器(350)。

5.根据权利要求1所述的一种高温气氛环境下粉体材料制备化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述连接法兰(500)的内侧壁固定安装有连接槽(520)，所述连接槽(520)的外侧壁转动连接有多个转珠(510)，所述连接槽(520)与连接器(350)相连接。