[实用新型]一种电子束材料加工的操控设备

权利要求书

1.一种电子束材料加工的操控设备，包括高压电缆(1)、机体(11)和电子枪(18),其特征在于：所述机体(11)的上方设置有电子枪(18)，且电子枪(18)的顶部设置有高压电缆(1)，并且高压电缆(1)的下端伸入到电子枪(18)内，且高压电缆(1)的底端设置有灯丝(2)，且灯丝(2)的外部设置有聚束极(3)，并且电子枪(18)的内底部设置有阳极(4),同时电子枪(18)的内底部中心开设有第三通孔(17)；

所述机体(11)左侧面设置有第一抽气口(12)，且机体(11)的右侧面设置有控制面板(8)，并且机体(11)的内部的工作台上设置有工件(10)，同时机体(11)的顶部开设有第一通孔(13)。

2.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述电子枪(18)下部左侧设置有第二抽气口(16)，且第二抽气口(16)下方的左右两部分别设置有第二观察镜筒(15)和第一观察镜筒(5)，并且第二观察镜筒(15)和第一观察镜筒(5)内均安装有多组反射镜(6)。

3.根据权利要求2所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述第二观察镜筒(15)和第一观察镜筒(5)之间设置有第二通孔(14)，且第二通孔(14)与第一通孔(13)之间的通道内壁左右两侧均安装有电磁透镜。

4.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述第一通孔(13)的外围设置的偏转线圈(7)，且偏转线圈(7)位于机体(11)内的工作台正上方。

5.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述机体(11)的前侧面安装有密封门，且机体(11)的左侧方安装有抽真空泵(19)，并且抽真空泵(19)的上部设置有第一抽气管(20)，第一抽气管(20)的右管口连接在第一抽气口(12)上，同时第一抽气管(20)的上部连接有第二抽气管(21)，且第二抽气管(21)的上管口连接在第二抽气口(16)上，第一抽气管(20)和第二抽气管(21)上均安装有一组电磁控制阀(22)。

6.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述电子枪(18)内的聚束极(3)与阳极(4)上下相对设置，且聚束极(3)与阳极(4)之间产生有高压静电场。

7.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述灯丝(2)发射有电子束(9)，且灯丝(2)、第三通孔(17)、第二通孔(14)、第一通孔(13)和工件(10)的中心均位于同一种轴线上，且电子束(9)由上至下依次穿过第三通孔(17)、第二通孔(14)和第一通孔(13)设置，并且电子束(9)直射在工件(10)的表面上。