[实用新型]一种复合式阳极电镀装置

说明书

本实用新型公开一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽、被镀物，被镀物安装于电镀槽一侧内壁，且电镀槽内腔安装有阳极支撑架，阳极支撑架上开设有阳极槽，阳极槽内壁安装有第一阳极、第二阳极，被镀物与第一阳极相对设置，阳极支撑架靠近内壁两侧均开设有通孔，阳极支撑架一侧连接离子膜支撑架，离子膜支撑架上安装阳离子透过膜。本实用新型通过非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架上，非可溶性阳极与可溶性阳极配合电镀，可以避免被镀物受到阳极上杂质、阳极在电镀过程消耗变形的影响，以及可溶性阳极造成被镀物各种缺陷不良，解决现有技术中非可溶阳极与可溶性阳在电镀过程中容易造成缺陷的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种复合式阳极电镀装置。

背景技术

随着电镀技术的发展，对被镀物的质量以及降低电镀液成本提出了很大的挑战；传统的电镀方式由于可溶性的阳极在电镀过程中会产生杂质对被镀物造成影响，降低了被镀物的品质；非可溶阳极在可以避免此阳极杂质的影响，由于溶液中的目标金属离子、添加剂不断的消耗，要维护的成本比较高昂，本发明特点是可以满足非可溶阳极不对被镀物造成品质影响的同时，还可以源源不断的提供溶液所需离子；大大降低了电镀过程的维护成本，同时提高了产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种复合式阳极电镀装置，解决以下技术问题：(1)非可溶阳极与可溶性阳极紧密结合在阳极支撑架上，非可溶性阳极与可溶性阳极配合电镀，可以避免被镀物受到阳极上杂质、阳极在电镀过程消耗变形的影响，以及可溶性阳极造成被镀物各种缺陷不良，解决现有技术中非可溶阳极与可溶性阳在电镀过程中容易造成缺陷的技术问题；(2)此装置可溶阳极外围被阳离子交换膜保护，形成一个分离空间，离子膜的位置、大小、形状不受限制，阳极支撑架上开有通孔，通孔的形状不受限制，阳极支撑架与离子膜支撑架密封连接在一起，电镀过程中可溶性阳极不断电解为离子溶到溶液中，离子通过阳离子透过膜到外部，外部溶液可以带动离子穿过通孔进入到被镀物附近补充浓度，最后在被镀物的表面完成沉积动作，解决现有技术中电镀过程中离子传输效率不高，同时离子膜局部缺陷容易影响被镀物良率的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种复合式阳极电镀装置，包括电镀槽、被镀物，所述被镀物安装于电镀槽一侧内壁，且所述电镀槽内腔安装有阳极支撑架，所述阳极支撑架上开设有阳极槽，所述阳极槽内壁安装有第一阳极、第二阳极，所述被镀物与第一阳极相对设置，所述阳极支撑架靠近内壁两侧均开设有通孔，所述阳极支撑架一侧连接离子膜支撑架，所述离子膜支撑架上安装阳离子透过膜，所述离子膜支撑架、被镀物分别设置于阳极支撑架两侧。

进一步的，所述阳极支撑架与离子膜支撑架为密封连接，所述阳极支撑架底部与电镀槽内壁底部接触，所述阳极支撑架两侧均与电镀槽内壁相接触。

进一步的，所述阳极槽设置于两个通孔之间。

进一步的，所述第一阳极为非可溶性阳极，所述第二阳极为可溶性阳极，所述第一阳极、第二阳极相互紧密连接。

进一步的，所述阳离子透过膜安装于离子膜支撑架三处侧壁，所述离子膜支撑架底部与电镀槽内壁底部接触。

本实用新型的有益效果：