[实用新型]一种光器件封装结构及光器件装置有效
申请号: | 201922293611.0 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211858688U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 唐永正;李波;王淑晖;徐强;潘双收 | 申请(专利权)人: | 武汉英飞光创科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 郑飞 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 器件 封装 结构 装置 | ||
1.一种光器件封装结构,其特征在于,所述封装结构(100)包括玻璃基板(10)及多个单独密封单元,各所述密封单元包括依次堆叠排布的有机材料密封层(20)、出光层(30)、封装层(40)、粘合层(60)及盖板玻璃层(70);
所述有机材料密封层(20)设置于所述玻璃基板(10)上,所述有机材料密封层(20)与所述玻璃基板(10)之间设有用于放置光器件(200)的空腔,所述出光层(30)包覆于所述有机材料密封层(20)上,所述封装层(40)包覆于所述出光层(30)上,所述盖板玻璃层(70)通过所述粘合层(60)包覆于所述封装层(40)上,所述盖板玻璃层(70)的两侧均设有与所述玻璃基板(10)粘接的贴合边沿(71)。
2.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,各所述密封单元还包括无机材料密封层(50),所述无机材料密封层(50)设置于所述封装层(40)与所述粘合层(60)之间。
3.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述封装层(40)包括无机氧化物层(41)及缓冲层(42),所述缓冲层(42)包覆于所述出光层(30)上,所述无机氧化物层(41)包覆于所述缓冲层(42)上。
4.根据权利要求3所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述的无机氧化物层采用多层金属氧化物交替形成;所述无机氧化物层的厚度为10nm-100nm;所述无机氧化物层的折射率为0.6-1.1;所述无机氧化物层采用ALD沉积的方式;所述缓冲层为聚硅氧烷。
5.根据权利要求3所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述缓冲层采用旋涂的方式进行生长,缓冲层厚度为100nm-250nm。
6.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述贴合边沿(71)的上表面设有按压槽(711),所述按压槽(711)为椭圆形。
7.根据权利要求4所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述出光层(30)的厚度为2-8nm;所述出光层(30)的折射率范围为1.2-1.50。
8.根据权利要求7所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述盖板玻璃层(70)的沉积厚度为60nm-100nm,所述有机材料密封层(20)的厚度为30nm-40nm;所述粘合层采用面涂覆方式形成,厚度为2-8μm。
9.一种光器件装置,其特征在于,包括权利要求1-8任一所述光器件封装结构及光器件(200),所述光器件(200)放置于所述空腔内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择