[实用新型]一种光器件封装结构及光器件装置有效

专利信息
申请号: 201922293611.0 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN211858688U 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 唐永正;李波;王淑晖;徐强;潘双收 申请(专利权)人: 武汉英飞光创科技有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 郑飞
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳大道*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 器件 封装 结构 装置
【权利要求书】:

1.一种光器件封装结构,其特征在于,所述封装结构(100)包括玻璃基板(10)及多个单独密封单元,各所述密封单元包括依次堆叠排布的有机材料密封层(20)、出光层(30)、封装层(40)、粘合层(60)及盖板玻璃层(70);

所述有机材料密封层(20)设置于所述玻璃基板(10)上,所述有机材料密封层(20)与所述玻璃基板(10)之间设有用于放置光器件(200)的空腔,所述出光层(30)包覆于所述有机材料密封层(20)上,所述封装层(40)包覆于所述出光层(30)上,所述盖板玻璃层(70)通过所述粘合层(60)包覆于所述封装层(40)上,所述盖板玻璃层(70)的两侧均设有与所述玻璃基板(10)粘接的贴合边沿(71)。

2.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,各所述密封单元还包括无机材料密封层(50),所述无机材料密封层(50)设置于所述封装层(40)与所述粘合层(60)之间。

3.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述封装层(40)包括无机氧化物层(41)及缓冲层(42),所述缓冲层(42)包覆于所述出光层(30)上,所述无机氧化物层(41)包覆于所述缓冲层(42)上。

4.根据权利要求3所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述的无机氧化物层采用多层金属氧化物交替形成;所述无机氧化物层的厚度为10nm-100nm;所述无机氧化物层的折射率为0.6-1.1;所述无机氧化物层采用ALD沉积的方式;所述缓冲层为聚硅氧烷。

5.根据权利要求3所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述缓冲层采用旋涂的方式进行生长,缓冲层厚度为100nm-250nm。

6.根据权利要求1所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述贴合边沿(71)的上表面设有按压槽(711),所述按压槽(711)为椭圆形。

7.根据权利要求4所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述出光层(30)的厚度为2-8nm;所述出光层(30)的折射率范围为1.2-1.50。

8.根据权利要求7所述一种光器件封装结构,其特征在于,所述盖板玻璃层(70)的沉积厚度为60nm-100nm,所述有机材料密封层(20)的厚度为30nm-40nm;所述粘合层采用面涂覆方式形成,厚度为2-8μm。

9.一种光器件装置,其特征在于,包括权利要求1-8任一所述光器件封装结构及光器件(200),所述光器件(200)放置于所述空腔内。

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