[实用新型]柔性电容传感器及压力测量装置有效
申请号: | 201922293520.7 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN210689875U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 赵学宁;贾小波;吴洪江;苏毅烽;陈锦峰;俞伟明;孔小丽;姚文健 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 电容 传感器 压力 测量 装置 | ||
本申请公开了一种柔性电容传感器及压力测量装置,柔性电容传感器包括依次层叠设置的第一柔性电极层、柔性绝缘层及第二柔性电极层;所述第一柔性电极层及所述第二柔性电极层均为单体结构;所述柔性绝缘层设置有多个用于提高所述柔性绝缘层柔性的孔隙。上述方案,第一柔性电极层及第二柔性电极层均为单体结构,较现有技术中采用复合层状结构,不存在因环境因素,如温度、湿度等造成不同层间脱落或破坏,造成柔性电容传感器失效的问题。
技术领域
本实用新型一般涉及传感器技术领域,具体涉及一种柔性电容传感器及压力测量装置。
背景技术
目前柔性电容传感器的柔性电极一般采用复合的多层结构,例如柔性电极采用塑料薄膜作为衬底,然后在衬底上形成金属薄膜,以形成柔性电极。对于塑料而言,其热稳定性是一个巨大的挑战。大多数塑料在环境中容易发生体积膨胀,导致在柔性电容传感器的制造过程中,形成在塑料上面的金属薄膜发生脱落或破坏,使柔性电容传感器失效。
实用新型内容
本申请期望提供一种柔性电容传感器及压力测量装置,用以克服现有技术中因金属薄膜与衬底发生脱落或破坏,使柔性电容传感器失效的问题。
第一方面,本实用新型提供一种柔性电容传感器,包括依次层叠设置的第一柔性电极层、柔性绝缘层及第二柔性电极层;
所述第一柔性电极层及所述第二柔性电极层均为单体结构;
所述柔性绝缘层设置有多个用于提高所述柔性绝缘层柔性的孔隙。
作为可实现的方式,所述柔性绝缘层包括至少一层柔性基底,所述柔性基底相背离的两面均设置有多个相互间隔的柔性凸起,同一面上设置的所述柔性凸起之间的间隙为所述孔隙。
作为可实现的方式,不同面之间的所述柔性凸起交错设置;和/或,
同一面上不同行或不同列的所述柔性凸起交错设置。
作为可实现的方式,所述柔性凸起为立方体、长方体、圆柱、多棱柱、圆台、球冠和锥台中的至少任一种。
作为可实现的方式,第一柔性电极层为导电橡胶层、导电硅胶层和导电纸中的任一种;和/或,
第二柔性电极层为导电橡胶层、导电硅胶层和导电纸中的任一种。
作为可实现的方式,所述柔性绝缘层为橡胶层、硅胶层和聚二甲基硅氧烷层中的任一种。
作为可实现的方式,所述柔性凸起的厚度为5-10μm。
作为可实现的方式,所述柔性基底的厚度为10-20μm。
作为可实现的方式,通过丝网印刷或压印形成所述柔性凸起。
第二方面,本实用新型提供一种压力测量装置,包括上述的柔性电容传感器。
上述方案,第一柔性电极层及第二柔性电极层均为单体结构,较现有技术中采用复合层状结构,不存在因环境因素,如温度、湿度等造成不同层间脱落或破坏,造成柔性电容传感器失效的问题。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型实施例提供的柔性电容传感器的使用状态示意图;
图2为本实用新型实施例提供的柔性绝缘层的俯视图;
图3为本实用新型另一实施例提供的柔性绝缘层的俯视图。
具体实施方式
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