[实用新型]一种新型自动化旋涂加热设备

权利要求书

1.一种新型自动化旋涂加热设备，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内设置有容纳槽，在所述外壳顶部连接有可覆盖所述容纳槽的端板，所述端板上开设有通风口；

真空装置，包括与所述容纳槽的底部连接的真空泵，以及位于所述真空泵上方与所述真空泵连接的用于吸附基片的真空吸盘；

旋涂装置，位于所述真空泵上方与所述真空吸盘连接可驱动所述真空吸盘旋转；

防护装置，包括设置于所述真空装置及所述旋涂装置外侧可升降的侧板，所述侧板的顶端口部形成有涂胶口，还包括位于所述侧板一侧可打开或关闭所述涂胶口的盖板；

滴胶装置，与所述容纳槽的槽壁连接，所述滴胶装置具有胶嘴，所述胶嘴可相对于所述涂胶口转动，通过涂胶口向所述真空吸盘吸附的基片滴加压印胶；

胶液回收装置，位于所述侧板之间的容纳槽底部，所述胶液回收装置包括设置于所述容纳槽底部的回收孔，以及与所述回收孔连通的回收桶；

加热装置，位于所述真空装置一侧与所述容纳槽的槽底连接，用于对所述基片加热；

升降装置，位于所述加热装置上，所述升降装置靠近所述加热装置的位置设置有加热点，所述升降装置可将所述基片下降至加热点位置以使所述加热装置对所述基片加热；

加热防护装置，包括位于所述加热装置及所述升降装置外侧的防护套，所述防护套顶部具有开口，还包括与所述容纳槽的槽壁连接的用于打开或关闭所述开口的防护盖板；

基片转移装置，位于所述旋涂装置及加热装置上方，用于将旋涂胶液后的基片移动从所述真空吸盘上卡取并移送至所述升降装置上；

控制器，与所述真空装置、所述旋涂装置、所述防护装置、所述滴胶装置、所述加热装置、所述升降装置、所述加热防护装置以及所述基片转移装置电性连接。

2.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述新型自动化旋涂加热设备还包括设置于所述外壳顶部与容纳槽连通的空气净化装置，以及设置在所述防护盖板上的排气孔，所述空气净化装置与所述控制器电性连接，所述基片上的胶液在所述加热装置加热过程中挥发的气体被所述空气净化装置排出。

3.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述真空吸盘包括吸盘，以及位于所述吸盘下方与吸盘连接的底座，所述真空吸盘上表面设置有真空槽，所述真空槽内设置有真空孔，所述底座中心设置有空心腔，所述真空泵通过气管穿过所述空心腔与所述真空孔连通。

4.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述旋涂装置为设置于所述真空泵上方的电机，所述电机的动力输出轴与所述真空吸盘连接。

5.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述侧板包括与所述容纳槽底部连接的固定侧板以及与所述固定侧板连接的可伸缩的伸缩板，所述固定侧板与所述伸缩板的内侧设置有弹性层，所述固定侧板一侧设置有固定座，所述固定座上连接驱动电机，所述驱动电机与所述盖板连接。

6.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述滴胶装置包括与所述容纳槽的槽壁转动连接的旋转臂，所述旋转臂通过伺服电机驱动，所述胶嘴位于所述旋转臂远离与所述容纳槽的槽壁连接的一端，所述容纳槽底部设置有蠕动泵，还包括与所述蠕动泵以及所述胶嘴通过管路连接的胶瓶。

7.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述加热装置包括电热板，以及与所述电热板连接的温度检测单元，所述温度检测单元用于检测所述电热板的温度。

8.根据权利要求1所述的新型自动化旋涂加热设备，其特征在于：所述升降装置位于所述加热装置上用于支撑由所述基片转移装置转移的基片的支柱，所述支柱呈三角排列并同时升降。