[实用新型]一种粘棒用去泡加压固化设备有效
| 申请号: | 201922286471.4 | 申请日: | 2019-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN211082496U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
| 发明(设计)人: | 张顼;李璐;朱佰庆;王鹏;张毅;仇健 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00;H01L21/67;B28D5/00 |
| 代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
| 地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 粘棒用去泡 加压 固化 设备 | ||
1.一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,包括真空箱(1)、加压机构(2)和输送机构(3),所述加压机构(2)和输送机构(3)位于真空箱(1)内,且所述输送机构(3)位于真空箱(1)的底部,所述加压机构(2)位于输送机构(3)的上方,真空箱(1)的箱体与抽真空装置(109)相连通以对位于真空箱(1)内的晶硅进行加压和抽真空去泡操作。
2.根据权利要求1所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述真空箱(1)包括真空箱本体(101)和真空箱门体(102),所述真空箱门体(102)与真空箱本体(101)密封配合,所述真空箱本体(101)的侧壁上安装有进气接头(103)、出气接头(104)、第一快装接头(105)、第二快装接头(106)和连通管(107),所述进气接头(103)、出气接头(104)均与加压机构(2)相连接;
所述第一快装接头(105)与抽真空装置(109)相连通;
所述第二快装接头(106)与压力表相接;
所述连通管(107)的一端与真空箱(1)的内部相连通,其另一端与导通阀(110)相连通。
3.根据权利要求2所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述真空箱本体(101)和真空箱门体(102)通过搭扣门锁相固定。
4.根据权利要求2或3所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述加压机构(2)包括安装板(201)、加压气缸(202)和加压板,所述加压气缸(202)的缸底端与安装板(201)的一侧相固定,其活塞端与加压板固连,且所述加压板沿水平方向设置,所述安装板(201)的另一侧与真空箱本体(101)的上顶面固连。
5.根据权利要求4所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述加压板包括平行设置的第一加压板(203)和第二加压板(204),所述第一加压板(203)与加压气缸(202)的气缸端固定连接,第二加压板(204)与第一加压板(203)粘接固定。
6.根据权利要求5所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述输送机构(3)与加压机构(2)相对设置,其固设于真空箱本体(101)的底面;
所述输送机构(3)包括平行设置的两个侧挡板(301),两个侧挡板(301)之间设置有多根输送滚筒(302),所述输送滚筒(302)跨设在两个侧挡板(301)之间,且其与侧挡板(301)相垂直设置,两个侧挡板(301)的一端垂直固设有前端固定板(303)用于对晶托进行限位,且所述输送滚筒(302)之间平行的设置有一后挡板(304),两个侧挡板(301)上设置有容纳后挡板(304)的卡槽(305),所述前端固定板(303)位于真空箱(1)内且远离真空箱门体(102)的一端,所述前端固定板(303)、后挡板(304)和输送滚筒(302)三者平行设置。
7.根据权利要求6所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述后挡板(304)与侧挡板(301)靠近真空箱门体(102)的一端之间设置至少一组输送滚筒(302)。
8.根据权利要求7所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述真空箱本体(101)与底座(4)连接,所述真空箱本体(101)的下底面固设有两个限位块(111),所述限位块(111)沿着与晶硅的输送方向相垂直设置。
9.根据权利要求8所述的一种粘棒用去泡加压固化设备,其特征在于,所述底座(4)包括成框架结构的机架(401)和安装于机架(401)底部的脚轮(402),所述机架(401)的上部固设有限位挡板(403),所述限位挡板(403)沿着晶硅的输送方向设置,且限位挡板(403)与机架(401)之间形成容纳限位块(111)的限位空间,用以固定所述限位块(111)。
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