[实用新型]一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构

权利要求书

1.一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：包括集气管（1）、至少进气支管（2）和增强管（3），其中：

所述集气管（1）环绕设置在吸附装置（4）外侧；

所述增强管（3）设置在吸附装置外壁上；

每一个所述进气支管（2）均包括进气接管（2-1）和过滤管（2-2）；

所述过滤管（2-2）的末端设有封板（2-5），且过滤管（2-2）开设有进气孔（2-6）的管身外侧缠绕有不锈钢丝网（2-4）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述集气管（1）为圆弧状。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述进气支管（2）为三个，三个所述进气支管（2）中的其中两个进气支管（2）分别连接在集气管的两端，另一个进气支管（2）连接在集气管（1）的中部，且相邻的两个进气支管间夹角为120°。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述集气管（1）的进气口（1-2）上设有与尾气输送管连接的法兰。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述集气管（1）通过集气接管（1-4）与进气支管（2）连接，所述集气接管（1-4）的一端与集气管（1）密封连接，所述集气接管（1-4）的另一端与进气支管（2）通过法兰密封连接。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述进气接管（2-1）的一端通过90°弯曲接头二（2-3）与法兰连接，所述进气接管（2-1）的另一端设有法兰盘，所述过滤管（2-2）焊接在法兰盘上。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述增强管（3）一端焊接在吸附装置（4）底部进气口上，增强管（3）的另一端设有与进气支管（2）连接的法兰。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述增强管（3）的内径大于所述过滤管（2-2）的外径。

9.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气吸附装置的进气结构，其特征在于：所述不锈钢丝网（2-4）在过滤管（2-2）外缠绕有3~4层。