[实用新型]一种晶圆通孔铜电镀夹具

权利要求书

1.一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，包括绝缘且结构相同的第一基板(1)和第二基板(2)，所述第一基板(1)和第二基板(2)相互平行，且第一基板(1)和第二基板(2)相邻的两个面上设置有凹槽，所述凹槽内设置有导电环板(3)，所述导电环板(3)面向凹槽槽口的侧面上设置有绝缘弹性垫(5)和多个导电弹性片(4)，所述绝缘弹性垫(5)覆盖所有的导电弹性片(4)，且绝缘弹性垫(5)上设置有多个通孔(6)，每个导电弹性片(4)位于一通孔(6)内；所述第一基板(1)和第二基板(2)可拆卸连接，且第一基板(1)的绝缘弹性垫(5)与第二基板(2)的绝缘弹性垫(5)能够夹紧晶圆的边缘，所述绝缘弹性垫(5)上以及凹槽的槽底设置有电镀液孔(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，所述凹槽的边缘连接有一延伸至第一基板(1)或第二基板(2)边缘的连接槽(8)，所述连接槽(8)内设置有导电片(9)，所述导电片(9)与导电环板(3)相连。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，所述导电片(9)与导电环板(3)一体成型。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，所述导电环板(3)为钛金属板。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，所述绝缘弹性垫(5)为橡胶垫。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，第一基板(1)和第二基板(2)均为PP板。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆通孔铜电镀夹具，其特征在于，所述第一基板(1)和第二基板(2)通过多个螺钉相连。