[实用新型]一种晶圆切割机防震底座

说明书

本实用新型公开了一种晶圆切割机防震底座，所述晶圆切割机本体的下端连接有支撑座，所述支撑座的下端与底座本体的连接处设有软垫，所述支撑座的下端两侧分别连接有支撑板，所述支撑板的下端贯穿至底座本体的内部连接有底板，所述底板的上端一侧安装有第一弹簧，所述底板的上端一侧还等距连接有若干组第二弹簧，所述第一弹簧的上端均连接至底座本体的内壁上，所述底板的下端还等距连接有若干组第三弹簧；本实用新型将晶圆切割机本体工作过程的震动通过支撑座传递到底座本体上，通过在底座本体的内部将这个过程产生的震动吸收，进而使得晶圆切割机本体工作过程机体的稳定性较好，保证其工作质量，延长其使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶圆切割机防震底座技术领域，具体为一种晶圆切割机防震底座。

背景技术

晶圆切割机又称为划片机，主要用于半导体行业中将硅片及各类陶瓷材料的切割成小块，晶圆切割机通过配备底座、精密直线导轨和高精密主轴等精密部件，保证晶圆切割机在生产中所需要的精度。现有的晶圆切割机的底座结构固定，这种底座存在防震效果不理想的缺陷，使得晶圆切割机工作时的震动会影响其加工质量，需要进一步改进，为此，我们推出一种晶圆切割机防震底座。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机防震底座，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割机防震底座，包括晶圆切割机本体、底座本体，所述晶圆切割机本体的下端连接有支撑座，所述支撑座的下端与底座本体的连接处设有软垫，所述支撑座的下端两侧分别连接有支撑板，所述支撑板的下端贯穿至底座本体的内部连接有底板，所述底板的上端一侧安装有第一弹簧，所述底板的上端一侧还等距连接有若干组第二弹簧，所述第一弹簧的上端均连接至底座本体的内壁上，所述底板的下端还等距连接有若干组第三弹簧，所述第三弹簧的下端连接至底座本体上，所述底板的内部还安装有固定板，所述固定板的下端连接有支撑腿，所述第二弹簧的上端连接至支撑腿的下端，所述支撑腿的下端贯穿至底座本体的外部，所述支撑腿的下端一侧设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部下端分别安装有若干组第四弹簧，所述底板的一端连接有滑块，所述底座本体的内部两侧分别设有第一滑槽，所述滑块滑接于第一滑槽的内部，所述滑块的下端连接有导杆，所述导杆呈L型设置，所述导杆的一端插接至第二滑槽中连接于第四弹簧的上端。

作为本技术方案的进一步优化，所述支撑座的内部设有缓冲垫，所述缓冲垫为橡胶缓冲垫，所述晶圆切割机本体的外部通过螺栓与支撑座连接。

作为本技术方案的进一步优化，所述底座本体的内部设有用于连接支撑板、底板、第一弹簧、第二弹簧、固定板、支撑腿、第三弹簧的安装腔。

作为本技术方案的进一步优化，所述底座本体的下端分别设有用于贯穿导杆的开口槽。

作为本技术方案的进一步优化，所述软垫为记忆棉软垫，且外部连接有尼龙布包裹层。

作为本技术方案的进一步优化，所述底座本体的上端两侧分别安装有若干组第五弹簧，所述第五弹簧的上端连接至支撑座的下端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将晶圆切割机本体工作过程的震动通过支撑座传递到底座本体上，通过在底座本体的内部将这个过程产生的震动吸收，支撑板在底座本体中上下运动，使得底板上端的第一弹簧、第二弹簧上下压缩并回弹，下端的第三弹簧上下压缩回弹，使得震动被减弱，并且滑块在第一滑槽中上下滑动，将震动在运行过程中稀释，导杆则下压第四弹簧在第二滑槽中上下移动，支撑腿稳定的固定在地面上，可以通过螺栓固定，固定板与底座本体通过焊接连接，通过软垫的设置，使得支撑座在底座本体上端震动时得以得到缓冲，减少震动和摩擦，将晶圆切割机本体的震动减小，进而使得晶圆切割机本体工作过程机体的稳定性较好，保证其工作质量，延长其使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；