[实用新型]一种高效处理含臭氧废气的处理装置

说明书

本实用新型属于工业废气处理设备领域，具体公开了一种高效处理含臭氧废气的处理装置，包括进气管（100）、气流计（200）、催化反应塔（300）、曝气管（310）、进液口（320）、排液口（330）、排气管（340）、过滤器（400）、排气泵（500）、废气监测器（600）、一号排气管（610）、一号阀门（620）、二号排气管（630）、二号阀门（640）、光解室（700）、光解室排气口（710）；本实用新型公开的高效处理含臭氧废气的处理装置，能够高效环保的清除含臭氧的工业废气，绿色环保。

技术领域

本实用新型属于工业废气处理设备领域，具体公开了一种高效处理含臭氧废气的处理装置。

背景技术

由于臭氧的强氧化性、应用臭氧的强氧化性来氧化、脱色、除臭、消毒、灭菌的领域越来越多，特别是在目前，光电、半导体等高科技产业在制程中均会使用大量臭氧来制造氧化层薄膜或对晶片、玻璃基板表面进行清洗。由于臭氧本身为强氧化剂且具有高腐蚀性，加上水溶解度低极易逸散至空气中，在低浓度即可以对人体呼吸系统产生不良影响，因此，如果生产中残余的臭氧不能得到有效的处理，将对工人的身体健康造成重大影响。

实用新型内容

针对以上不足，本实用新型公开了一种高效处理含臭氧废气的处理装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种高效处理含臭氧废气的处理装置，包括进气管、气流计、催化反应塔、曝气管、进液口、排液口、排气管、过滤器、排气泵、废气监测器、一号排气管、一号阀门、二号排气管、二号阀门、光解室、光解室排气口；所述进气管插入所述催化反应塔的液面以下；所述气流计安装在所述气管的管路上；所述进气管的末端设置成布满小孔的曝气管，布置于所述催化反应塔的底部；所述催化反应塔上方为所述进液口，所述排液口设置于所述催化反应塔的底部；所述催化反应塔的顶部设置有排气管；所述排气管与所述排气泵连接；所述排气管与所述排气泵之间设置有过滤器；所述排气泵后的管路上设置有废气监测器；所述废气检测器的出口分为一号排气管和二号排气管；所述一号阀门位于所述一号排气管上，所述二号阀门位于所述二号排气管上；所述二号排气管连接所述光解室的下端，所述光解室排气口位于所述光解室的顶部。工作时含臭氧废气从进气管通过气流计计算流量，并通过催化反应塔中的曝气管进入催化反应液中，进行催化去除臭氧，经过催化除臭氧后的废气由排气泵抽取，经过排气管以及过滤器后，进入废气监测器检测臭氧含量，当臭氧含量达标时，关闭一号阀门，打开二号阀门，废气从二号排气管排入下一个处理工序；当废气监测器检测臭氧含量不达标时，打开一号阀门，关闭二号阀门，废气从一号排气管进入光解室进一步去除臭氧，并通过光解室排气口排入下一处理工序。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述一号阀门与二号阀门均为电动阀门，所述废气监测器与所述一号阀门和二号阀门电性连接。使用电动阀门，根据废气监测器的检测结果可以实现后续自动化控制。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述光解室中设置有灯光开关，所述废气监测器与所述灯光开关电性连接。废气监测器可以控制灯光开关的开闭，实现自动化控制。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述催化反应塔中的催化液为含有亚铁离子(Fe2+)的催化液。亚铁离子(Fe2+)可以有效的将臭氧还原为氧气。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述催化反应塔中设置有金属离子监测器。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所所述金属离子监测器中设置有无线信号发射单元。金属离子监测器可以有效的实时检测溶液中的亚铁离子的数量，反馈给控制人员。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述光解室中设置有白炽灯管。

进一步的，一种高效处理含臭氧废气的处理装置，所述光解室中的光照强度≥500lex。光照强度越高，臭氧分解为氧气越迅速。