[实用新型]坩埚盖板与晶体硅铸锭设备有效
申请号: | 201922262245.2 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211339740U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 陈伟;王全志;李林东;唐珊珊;丁云飞 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 胡彭年 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 盖板 晶体 铸锭 设备 | ||
本申请提供一种坩埚盖板与晶体硅铸锭设备,所述坩埚盖板包括主体部与边角部,所述边角部与所述主体部拼接呈一体或与所述主体部相分离。所述晶体硅铸锭设备包括底板与护板,所述底板与护板形成向上开口并用以收容坩埚的容置腔,所述坩埚盖板用以遮蔽所述容置腔。所述坩埚盖板具有第一使用状态与第二使用状态,第一使用状态下,主体部与边角部相互拼接呈一体并盖设在所述容置腔上方,第二使用状态下,所述主体部独立盖设在所述容置腔上方,且所述主体部的外周形成有气流通道。本申请坩埚盖板通过可相互拼接或分离的主体部与边角部设计,降低边角磕碰受损的风险,结构简洁,并可满足不同的铸锭工艺需求。
技术领域
本申请涉及晶体硅生产设备技术领域,特别涉及一种坩埚盖板与晶体硅铸锭设备。
背景技术
晶体硅铸锭设备可用于多晶硅锭、类单晶硅锭的工业化生产,实际生产中,盛放硅料的坩埚上方通常还设置有石墨盖板。现有的石墨盖板多呈一体式设计,整体尺寸与重量都较大,尤其是就G7、G8等较大的铸锭炉型而言,相应的石墨盖板操作、移动过程中很容易发生角部磕碰受损。业内已公开有将石墨盖板设置为对称的两部分,并进行组合使用的方案,但两部分存有的间隙可能导致坩埚内局部气流紊乱,也可能造成坩埚内局部热场波动,影响铸锭质量。且上述两部分石墨盖板呈矩形,仍难克服边角磕碰受损的问题。
另外,类单晶铸锭的工艺要求更为严格,加热器、石墨护板、坩埚及坩埚涂层在高温条件下均会引入碳、氧等杂质,氧浓度过高容易形成复合中心或其它缺陷,导致硅锭的少数载流子寿命降低,直接影响后续电池片的转换效率。传统的石墨盖板不利于坩埚内气体的排出,业内也公开有在石墨盖板的边缘位置设置出气孔的方案,以使得坩埚内的杂质气体更顺利地排出,进而降低晶体硅锭中的氧元素含量,但上述石墨盖板难以匹配不同铸锭工艺需求。
鉴于此,有必要提供一种新的坩埚盖板与晶体硅铸锭设备
实用新型内容
本申请目的在于提供一种坩埚盖板与晶体硅铸锭设备,结构简洁,能够降低磕碰受损的风险,并可满足不同的铸锭工艺需求。
为实现上述目的,本申请实施例提供一种坩埚盖板,包括主体部与边角部,所述边角部与所述主体部拼接呈一体或与所述主体部相分离。
作为本申请实施例的进一步改进,所述边角部设置为四个,且当所述边角部与主体部拼接呈一体时,所述坩埚盖板呈矩形。
作为本申请实施例的进一步改进,四个所述边角部的规格相同。
作为本申请实施例的进一步改进,所述主体部具有相邻设置的第一侧边与第二侧边,所述第二侧边用以与所述边角部相拼接,所述第二侧边呈直线形或弧形设置。
作为本申请实施例的进一步改进,所述边角部设置呈等腰直角三角形。
作为本申请实施例的进一步改进,所述边角部的直角边的长度不小于10cm。
作为本申请实施例的进一步改进,所述主体部的中心位置开设上下贯穿的进气口。
作为本申请实施例的进一步改进,所述主体部、边角部均由石墨制得且两者的厚度一致。
本申请还提供一种晶体硅铸锭设备,包括底板与护板,所述底板与护板形成向上开口并用以收容坩埚的容置腔;所述晶体硅铸锭设备还具有用以遮蔽所述容置腔且如前所述的坩埚盖板,所述坩埚盖板具有第一使用状态与第二使用状态,第一使用状态下,主体部与边角部相互拼接呈一体并盖设在所述容置腔上方,第二使用状态下,所述主体部独立盖设在所述容置腔上方,且所述主体部的外周形成有气流通道。
本申请的有益效果是:采用本申请坩埚盖板与晶体硅铸锭设备,通过将现有坩埚盖板设置为可相互拼接或分离的主体部与边角部,降低边角磕碰受损的风险;所述坩埚盖板结构简洁,铸锭过程中,可将所述主体部与边角部拼接组合使用,或仅采用所述主体部,以分别满足不同的铸锭工艺需求。
附图说明
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