[实用新型]一种光纤端面微悬臂梁传感器

权利要求书

1.一种光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，包括：

光纤，包括纤芯和包层；

悬臂梁结构，通过飞秒激光双光子聚合技术聚合在所述光纤的一端面；

所述悬臂梁结构为聚合物结构，悬臂梁结构包括支柱和微悬臂梁；

所述支柱的第一端与光纤端面的包层结合；所述微悬臂梁的一端固定在支柱的第二端，所述微悬臂梁的另一端悬空在纤芯上方形成悬臂，所述微悬臂梁与光纤的端面平行。

2.根据权利要求1所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，沿垂直于光纤端面的方向，所述悬臂在光纤端面上的投影覆盖纤芯。

3.根据权利要求1所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述传感器的微悬臂梁的厚度不大于10μm，宽度不大于100μm；所述支柱的高度不大于200μm。

4.根据权利要求1所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述光纤端面微悬臂梁传感器为氢气传感器，所述微悬臂梁表面镀有氢敏感膜。

5.根据权利要求4所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述氢敏感膜为钯膜。

6.根据权利要求5所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述钯膜的厚度小于1μm。

7.根据权利要求6所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述钯膜的厚度为50~150nm。

8.根据权利要求4所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述氢气传感器的微悬臂梁的厚度不大于5μm，宽度范围为5~30μm；所述支柱的高度为20~80μm。

9.根据权利要求1所述的光纤端面微悬臂梁传感器，其特征在于，所述传感器为温度传感器、折射率传感器、湿度传感器、振动信号传感器、磁场传感器、生物传感器中的任意一种。