[实用新型]一种石英舟

权利要求书

1.一种石英舟，其特征在于，包括：

舟体(1)，其内底面和相对的两个侧面均间隔且成对设置有多个第一卡片板(11)，成对的两个所述第一卡片板(11)之间形成第一卡槽，所述舟体(1)在相邻的两个所述第一卡槽的位置处设置为开口结构，所述舟体(1)的另外两个侧面为开口结构；

舟盖(2)，其能够盖设于所述舟体(1)上，所述舟盖(2)的顶面间隔且成对设置有多个第二卡片板(21)，成对的两个所述第二卡片板(21)之间形成第二卡槽；

所述舟盖(2)盖设于所述舟体(1)上后，所述第一卡槽和与其对应的所述第二卡槽之间形成方形卡槽，所述方形卡槽内能够容纳两个硅片(100)，所述方形卡槽与所述硅片(100)的边缘过盈配合。

2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽的槽宽和所述第二卡槽的槽宽均为两个所述硅片(100)的厚度之和。

3.根据权利要求2所述的石英舟，其特征在于，在所述第一卡槽的槽壁上和所述第二卡槽的槽壁上均设置有弹性层。

4.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽靠近所述第二卡槽的一端开口呈喇叭状。

5.根据权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，所述舟盖(2)转动设置于所述舟体(1)上。

6.根据权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟还包括转轴(3)，所述转轴(3)穿设于所述舟盖(2)上，且所述转轴(3)的两端固定于所述舟体(1)上，所述舟盖(2)能够绕所述转轴(3)转动。

7.根据权利要求6所述的石英舟，其特征在于，所述转轴(3)为螺杆，所述螺杆的两端通过螺母(4)固定于所述舟体(1)上。

8.根据权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟还包括锁扣组件(5)，所述锁扣组件(5)被配置为锁合所述舟体(1)和所述舟盖(2)。

9.根据权利要求8所述的石英舟，其特征在于，所述锁扣组件(5)包括凸起(51)和锁合件(52)，当所述凸起(51)设置于所述舟体(1)上时，所述锁合件(52)设置于所述舟盖(2)上，当所述锁合件(52)设置于所述舟体(1)上时，所述凸起(51)设置于所述舟盖(2)上；

所述锁合件(52)上设置有凹槽(521)，所述凸起(51)能够卡接于所述凹槽(521)内。

10.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述舟盖(2)上设置有扣手(22)。