[实用新型]一种惰性气体分离装置

权利要求书

1.一种惰性气体分离装置，其特征在于，包括分离腔（1）、安装在分离腔（1）底部的加热器（2）、安装在分离腔（1）顶部的盖体（3）、固定在盖体（3）上且悬空设置在分离腔（1）内部的钛升华泵（4）、设置在分离腔（1）侧壁上的干泵（5）和真空计（6）、以及设置在分离腔（1）内部的进水管（7），其中：

所述分离腔（1）的侧壁还设置有出气口（101）、进气口（102）、进液口（103）、排气口（104）和检测口（105），所述出气口（101）的外部依次连接真空阀、流量计和质谱仪，所述进气口（102）连通氮气源，所述进液口（103）的外部连通样品池，进液口（103）的内部连通进水管（7），所述排气口（104）连通大气、所述检测口（105）连通所述真空计（6），所述出气口（101）和进气口（102）以及进液口（103）上均设置有电磁阀门。

2.根据权利要求1所述的惰性气体分离装置，其特征在于，所述加热器（2）从上至下依次包括蒸发器（201）、导热板（202）、电热丝（203）和安装座（204），所述蒸发器（201）为导热的开口容器，所述导热板（202）用于均匀传递热量，所述电热丝（203）盘设在安装座（204）中部凹槽内且用于加热蒸发器（201），所述电热丝（203）为铁氟龙碳纤维发热丝或镍铬电热丝。

3.根据权利要求1所述的惰性气体分离装置，其特征在于，所述盖体（3）开设有冷却进口（301）、冷却出口（302）和安装口（303），所述冷却进口（301）和冷却出口（302）用于安装冷却管（403），所述安装口（303）用于容放钛升华泵（4）。

4.根据权利要求1所述的惰性气体分离装置，其特征在于，所述盖体（3）与分离腔（1）采用螺纹连接，盖体（3）与分离腔（1）的接触面之间采用刀口密封方式。

5.根据权利要求1所述的惰性气体分离装置，其特征在于，所述进水管（7）的末端设置有喷头（8），所述喷头（8）悬空设置在加热器（2）上方。

6.根据权利要求1所述的惰性气体分离装置，其特征在于，所述钛升华泵（4）包括泵体（401）和冷阱（402），所述泵体（401）的上部固定在安装口（303）内，所述冷阱（402）开口向下设置在盖体（3）下表面，所述冷阱（402）上设置有两根冷却管（403）以形成冷却回路，冷阱（402）的中部开设有容放泵体（401）的通孔（404）。