[实用新型]一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置

说明书

本实用新型公开一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置，所述装置沿基板传送方向依次连通设有进料腔室、第一缓冲腔室、加热腔室、第一狭缝腔室、第一蒸发腔室、第二蒸发腔室、第二狭缝腔室、第二缓冲腔室与出料腔室；所有腔室内的底部均设有用于传输基板架的传送辊；狭缝腔室的宽度小于其它腔室，狭缝腔室壳体中央为基板架通道，基板架通道外周环绕设有水汽捕集器，水汽捕集器两侧由内至外依次间隔设有内均热板、中均热板与外均热板；该装置能够吸附基板表面的水汽，并且保证蒸发腔内蒸发过程中工艺气体压力的稳定性，保证薄膜的生长质量。

技术领域

本实用新型涉及薄膜太阳能电池生产设备技术领域，具体是一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置。

背景技术

铜铟硒太阳能薄膜电池是在玻璃或其它廉价衬底上沉积若干层金属化合物半导体薄膜，薄膜总厚度大约2-3毫米，利用太阳光发电。铜铟硒电池具有成本低，性能稳定，抗辐射能力强等特性，光电转换效率目前是各种薄膜太阳电池之首，正是由于其优异的性能被国际上称为下一时代的廉价太阳能电池，吸引了众多机构及专家进行研究开发。

实际的生产过程中，非常多的设备采用蒸发镀膜的方式去沉积CIGS电池所需要的膜层，但在生产过程中，由于连续性生产，基板从外部进入腔室内到沉积薄膜时时间很短，基板表面会有大量水汽，影响到薄膜的生长质量，并且基板到蒸发腔传送过程中会影响蒸发腔内蒸发环境压力，影响沉积速率及均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置，该装置能够吸附基板表面的水汽，并且保证蒸发腔内蒸发过程中工艺气体压力的稳定性，保证薄膜的生长质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置，所述装置沿基板传送方向依次连通设有进料腔室、第一缓冲腔室、加热腔室、第一狭缝腔室、第一蒸发腔室、第二蒸发腔室、第二狭缝腔室、第二缓冲腔室与出料腔室；所有腔室内的底部均设有用于传输基板架的传送辊；

所述进料腔室的入口设有进料阀门，进料腔室与第一缓冲腔室之间设有第一缓冲阀门，第一缓冲腔室与加热腔室之间设有加热阀门；出料腔室的出口设有出料阀门，出料腔室与第二缓冲腔室之间设有第二缓冲阀门；

所述进料腔室与出料腔室在工作时保持5Pa的真空度，第一缓冲腔室与第二缓冲腔室在工作时保持5*10^-4Pa的真空度；

所述狭缝腔室的宽度小于其它腔室，狭缝腔室壳体中央为基板架通道，基板架通道外周环绕设有水汽捕集器，水汽捕集器两侧由内至外依次间隔设有内均热板、中均热板与外均热板；

加热腔室用于对基板架上的基板加热至蒸发工艺温度，第一蒸发腔室与第二蒸发腔室互为备用，用于对基板进行蒸发镀膜。

本实用新型的有益效果是：

一、采用双蒸发腔室的设计，实现一用一备，满足蒸发工艺的稳定性与连续性。

二、蒸发腔室的前后分别采用狭缝腔室，狭缝腔室的基板架通道刚刚能够允许基板架通过，使水汽捕集器能够将经过加热基板表面的水汽进行收集，保证蒸发镀膜质量。

三、通过三层均热板能够保证基板在进入蒸发腔室内温度的均匀性，同时也保证蒸发腔室内工艺气体压力的稳定性。

四、狭缝腔室也会对蒸发腔室内的逸出材料进行沉积，避免污染其它腔室。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型第一狭缝腔室的放大结构示意图；