[实用新型]用于感测消除静电的X光机的传感器

说明书

一种用于感测消除静电的X光机的传感器，传感器包括设置于感测窗口内的薄膜、光电感测组件及处理器。薄膜对准X光机发射X光射线的出口，用以感测由X光机所发射出来的X光射线；光电感测组件接收薄膜所感测到的X光射线，并将X光射线转换成电流讯号；处理器从光电感测组件接收电流讯号，并将电流讯号传送至外部装置，由外部装置依据电流讯号来判断或是监控X光机是否正常。

技术领域

本实用新型为涉及光电半导体的技术领域，特别是一种用于感测消除液晶面板上的静电的X光机的传感器。

背景技术

过去以来，半导体、液晶、有机EL、印刷电路板的制程中，经常发生的问题是半导体面板、液晶面板、有机EL面板、印刷电路板的加工/处理步骤，由于绝缘氧化膜(SiO₂)或玻璃表面是高绝缘体，很容易发生静电带电，而在玻璃基板表面带有静电，静电会吸附空气中的粉尘，容易破坏半导体面板、液晶面板、有机EL面板、印刷电路板上的电路；静电产生的带电电压会引起薄膜晶体管等器件的故障。而使产品面临可靠性下降、良率不佳等问题。

为解决前述问题，可在面板上设置消除静电的X光机，以消除面板上的静电及/或防止面板的表面带电。消除静电的X光机采取对空气照射X光射线的方式，以将空气离子化而生成高浓度的离子，因此可以在非常短的时间内消除静电，并且残留静电的电压非常低，在大气压状态的非活性气体里亦可防止静电。但是当消除静电的X光机故障时则无法达到消除面板所附带的静电，故障的情形包括：消除静电的X光机无法正常发射X光射线；X光管老化导致X光射线强度不足而无法正常运作；X光机的指示灯在异常状态无法显示等等。

因此目前极需一种能够感测、监控消除静电的X光机是否正常运作的技术。

实用新型内容

为了解决上述的问题，本实用新型的主要目的在提供一种用于感测消除静电的X光机的传感器，用于感测X光机所发出的X光射线。传感器包括薄膜、光电感测组件及处理器。薄膜设置于感测窗口，薄膜对准X光机发射X光射线的出口，用以感测由X光机所发射出来的X光射线；光电感测组件接收薄膜所感测到的X光射线，并将X光射线转换成电流讯号；处理器从光电感测组件接收电流讯号，并将电流讯号传送至外部装置，使用者可以由外部装置依据电流讯号来判断或是监控X光机是否正常。

本实用新型更提供一种用于感测消除静电的X光机的传感器，用于感测X光机所发出的X光射线。传感器包括薄膜、光转换组件、光电感测组件及处理器。薄膜设置于感测窗口，薄膜对准X光机发射X光射线的出口，用以感测由X光机所发射出来的X光射线；光转换组件接收薄膜所感测到的X光射线，并将X光射线转换成可见光；光电感测组件从光转换组件接收可见光，并将可见光转换成电流讯号；处理器从光电感测组件接收电流讯号，并将电流讯号传送至外部装置，使用者可以由外部装置依据电流讯号来判断或是监控X光机是否正常。

本实用新型的用于感测消除静电的X光机的传感器具有可以感测X光射线的薄膜，并滤除除了X光射线以外的其他光线，以屏蔽可见光对由X光机所发射的X光射线造成干扰，降低传感器感测到除了X光射线以外的其他光线的机率。实现感测消除静电的X光机所发射的X光射线之目的。

附图说明

图1是根据本实用新型所述的技术，表示用于感测消除静电的X光机的传感器的第一实施例的侧视示意图。

图2是根据本实用新型所述的技术，表示用于感测消除静电的X光机的传感器的第一实施例的方块图。

图3是根据本实用新型所述的技术，表示用于感测消除静电的X光机的传感器的第二实施例的方块图。

图4A是根据本实用新型所述的技术，表示用于感测消除静电的X光机的传感器的第三实施例的侧视示意图。

图4B是根据本实用新型所述的技术，表示用于感测消除静电的X光机的传感器的第三实施例的方块图。