[实用新型]10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置

说明书

本实用新型涉及一种10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置。它包括电子枪和钛泵，电子枪与钛泵相连。其特点是：还包括离子泵和抽空三通管。离子泵的出口通过第一直通阀与抽空三通管的一个口连通，抽空三通管的另一个口通过第二直通阀与电子枪相连，抽空三通管的第三个口通过电离轨、第三直通阀和低真空电阻轨、冲放气阀和分子泵接口管与分子泵机组的接入点相连。电离轨上连有高低真空计。电子枪通过隔离变压器与交流调压器的次级相连，电子枪与隔离变压器间有交流电流表和交流电压表。采用本实用新型，可确保电子枪的电子发射，延长电子枪的使用寿命。适用于电子直线加速器的电子枪灯丝表面、海绵层和内部所吸附的气体的排除。

技术领域

本实用新型涉及一种排气装置。具体说，是用来排出电子直线加速器的电子枪灯丝表面、海棉层和内部所吸附的气体的排气装置。

背景技术

在电子加速器生产和应用领域都知道，10MeV电子直线加速器的电子枪采用加热其灯丝来发射电子。其中的电子枪灯丝为钡钨复合材料，在使用过程中其表面层、海棉层和内部都吸附有大量气体。这些气体，不仅会制约电子枪的电子发射，还会影响电子枪的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置。采用这种排气装置，不仅可确保电子枪的电子发射，还可延长电子枪的使用寿命。

本实用新型要解决的上述问题由以下技术方案实现：

本实用新型的10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置包括电子枪和钛泵，电子枪与钛泵相连。其特点是：还包括离子泵和抽空三通管。离子泵的出口通过第一直通阀与抽空三通管的一个口连通，抽空三通管的另一个口通过第二直通阀与电子枪相连，抽空三通管的第三个口通过电离轨、第三直通阀和低真空电阻轨、冲放气阀和分子泵接口管与分子泵机组的接入点相连。电离轨上连有高低真空计。电子枪通过隔离变压器与交流调压器的次级相连，电子枪与隔离变压器间有交流电流表和交流电压表。

其中，离子泵与第一直通阀间有第一过渡法兰。

第二直通阀与电子枪间有第二过渡法兰。

由上述方案可以看出，本实用新型的10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置含有离子泵和抽空三通管。离子泵的出口通过第一直通阀与抽空三通管的一个口连通，抽空三通管的另一个口通过第二直通阀与电子枪相连，抽空三通管的第三个口通过电离轨、第三直通阀和低真空电阻轨、冲放气阀和分子泵接口管与分子泵机组的接入点相连。电离轨上连有高低真空计。电子枪通过隔离变压器与交流调压器的次级相连，电子枪与隔离变压器间有交流电流表和交流电压表。排气时，首先用分子泵机组对10MeV电子直线加速器进行抽真空。当真空度达到10^-4Pa后，用电加热带包裹电子枪及整个电子加速器，用140~170⁰C的温度加热24小时，在此过程中，分子泵机组必须连续运行，以便将真空管道及电子枪表面逸出的气体完全排出。然后，再启动离子泵，待离子流达到50微安以下且电子枪及管路完全冷却时，启动电子枪自带的钛泵，待钛泵电压达到4.5kv工作电压、20微安以下电流时，慢慢加压，对灯丝进行排气，直至将附着在电子枪灯丝表面层、海棉层和内部的气体排除干净。通过排气，确保了电子枪的电子发射，延长了电子枪的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的10MeV电子直线加速器电子枪用排气装置示意图。

具体实施方式