[实用新型]一种基于平面线圈面内检测的微陀螺

权利要求书

1.一种基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，包括：

下基板(3)，设置在下基板(3)上的键合框体(2)以及设置在键合框体(2)上的上基板(1)，所述上基板(1)包括:支撑框体(15)、外质量块(4)、内质量块(5),所述外质量块(4)设置在所述支撑框体(15)内侧，所述内质量块(5)设置在所述外质量块(4)内侧，所述支撑框体(15)内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块(4)连接，所述外质量块(4)内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块(5)连接，所述内质量块上设置有平面线圈(14)。

2.根据权利要求1所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述下基板(3)表面设置有固定驱动磁体(16)、反馈磁体(17)、固定检测S型磁体(18)和检测N型磁体(19)，所述固定驱动磁体(16)和反馈磁体(17)左右对称设置，所述固定检测S型磁体(18)和检测N型磁体(19)设置在所述固定驱动磁体(16)、反馈磁体(17)之间并上下对称设置，所述固定检测S型磁体(18)和检测N型磁体(19)位于所述平面线圈(14)下方。

3.根据权利要求1所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述平面线圈(14)的端部分别与一引线(25)连接，所述引线(25)一端与所述平面线圈(14)连接，所述引线(25)另一端通过检测机构、驱动机构引至支撑框体(15)上。

4.根据权利要求3所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述平面线圈(14)上设置有用于铺设引线(25)的绝缘层(24)，当引线通过平面线圈(14)时，所述引线(25)铺设在所述绝缘层(24)上。

5.根据权利要求1所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述驱动组件包括：第一驱动机构(6)、第二驱动机构(7)、第三驱动机构(8)及第四驱动机构(9)，所述第一驱动机构(6)、第二驱动机构(7)、第三驱动机构(8)及第四驱动机构(9)分别设置在所述支撑框体(15)内侧的边角处。

6.根据权利要求5所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述第一驱动机构(6)、第二驱动机构(7)、第三驱动机构(8)及第四驱动机构(9)均由第一驱动弹性梁(20)、第二驱动弹性梁(21)、驱动连接块(22)、驱动连接梁(23)组成，所述驱动连接梁(23)设置在所述驱动连接块(22)一端，所述第一驱动弹性梁(20)、第二驱动弹性梁(21)分别设置在所述驱动连接块(22)两侧并且一端分别与所述驱动连接梁(23)连接，所述第一驱动弹性梁(20)、第二驱动弹性梁(21)另一端分别与所述外质量块(4)连接，所述驱动连接块(22)另一端与所述支撑框体(15)连接。

7.根据权利要求1所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述检测组件包括：第一检测机构(10)、第二检测机构(11)、第三检测机构(12)及第四检测机构(13)，所述第一检测机构(10)、第二检测机构(11)、第三检测机构(12)及第四检测机构(13)分别设置在所述外质量块(4)内侧的边角处。

8.根据权利要求7所述的基于平面线圈面内检测的微陀螺，其特征在于，所述第一检测机构(10)、第二检测机构(11)、第三检测机构(12)、第四检测机构(13)均由第一检测弹性梁(20a)、第二检测弹性梁(21a)、检测连接块(22a)、检测连接梁(23a)组成，所述检测连接梁(23a)设置在所述检测连接块(22a)一端，所述第一检测弹性梁(20a)、第二检测弹性梁(21a)分别设置在所述检测连接块(22a)两侧并且一端分别与所述检测连接梁(23a)连接，所述第一检测弹性梁(20a)、第二检测弹性梁(21a)另一端分别与所述内质量块(5)连接，所述检测连接块(22a)另一端与所述外质量块(4)连接。