[实用新型]一种新型蚀刻液监控装置有效
申请号: | 201922228792.9 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN211256099U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 龚旭;周爱东 | 申请(专利权)人: | 江苏佰元鸿金属科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 石磊 |
地址: | 224200 江苏省盐城市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 蚀刻 监控 装置 | ||
1.一种新型蚀刻液监控装置,包括基体(1)、卡接结构(7)、导管(8)、检测头(10)和测试台(12),其特征在于:所述基体(1)的顶部安装有检测头(10),且检测头(10)的下方设有导管(8),同时导管(8)的一端延伸至基体(1)的外部并安装有防堵塞结构(9),所述导管(8)远离防堵塞结构(9)一侧的基体(1)内部通过中轴(6)铰接有测试台(12),且测试台(12)远离导管(8)一侧的中轴(6)延伸至基体(1)的外部,所述测试台(12)一侧的基体(1)外壁上固定有喷头(11),且喷头(11)的一端延伸至基体(1)的外部,所述喷头(11)下方的基体(1)内壁上安装有风机(13),所述基体(1)顶端的一侧固定有报警器(2),所述基体(1)的外侧壁上安装有单片机(3),且单片机(3)的输出端与报警器(2)、喷头(11)以及风机(13)的输入端电性连接,并且单片机(3)的输入端与检测头(10)的输出端电性连接,所述基体(1)的底端固定有卡接结构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻液监控装置,其特征在于:所述单片机(3)下方的基体(1)表面设有滑槽(4),且滑槽(4)一侧的中轴(6)表面套装有滑动块(5),并且滑动块(5)与测试台(12)相互配合。
3.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻液监控装置,其特征在于:所述卡接结构(7)从内到外依次设有壳体(705)、手动杆(704)、拉动柱(701)、挡块(702)、弹簧(703)、铰接轴(707)、卡块(706)以及槽体(708),所述壳体(705)的内部设有拉动柱(701),且拉动柱(701)的一侧延伸至基体(1)的外部并安装有手动杆(704),所述拉动柱(701)一侧的壳体(705)内部安装有挡块(702),且挡块(702)一侧的拉动柱(701)表面套装有弹簧(703),且弹簧(703)与手动杆(704)相互配合。
4.根据权利要求3所述的一种新型蚀刻液监控装置,其特征在于:所述拉动柱(701)的底端通过铰接轴(707)铰接有等间距的卡块(706),且卡块(706)下方的壳体(705)内部设有等间距的槽体(708),并且槽体(708)与卡块(706)相互配合。
5.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻液监控装置,其特征在于:所述防堵塞结构(9)从内到外依次设有铰接柱(902)、轴柱(903)、块体(904)、扇叶(906)、透水孔(905)以及手摇轴(901),所述铰接柱(902)的内部通过轴柱(903)铰接有块体(904),且轴柱(903)的一端延伸至铰接柱(902)的外部,所述块体(904)的外侧壁的铰接柱(902)内部设有六个扇叶(906),且相邻扇叶(906)之间的夹角为60°。
6.根据权利要求5所述的一种新型蚀刻液监控装置,其特征在于:所述扇叶(906)的内部设有等间距的透水孔(905),且铰接柱(902)一侧的轴柱(903)表面套装有手摇轴(901),并且手摇轴(901)与块体(904)相互配合。
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