[实用新型]一种硅片花篮洗液过滤装置

权利要求书

1.一种硅片花篮洗液过滤装置，它包括过滤筒体，过滤筒体四周均匀设有出水孔，过滤筒体一端设有堵头，另一端为进水口，其特征在于，所述过滤筒体内部同轴设有十字分区板，十字分区板的截面为十字形，十字分区板与过滤筒体内壁焊接固定，将过滤筒体内部分割成四个相同的出水腔室。

2.根据权利要求1所述一种硅片花篮洗液过滤装置，其特征在于，所述过滤筒体的出水孔内侧设有过滤丝网。

3.根据权利要求1所述一种硅片花篮洗液过滤装置，其特征在于，所述十字分区板由一块宽板，以及分别焊接在宽板中部两侧的两块窄板构成，一块宽板和两块窄板焊接形成截面为十字形的十字分区板。