[实用新型]用于直线测量旋转靶场强的治具

说明书

本实用新型公开了用于直线测量旋转靶场强的治具，包括直线导轨(1)、导轨滑块(2)、及场强测量探头(3)，所述直线导轨(1)设置在旋转靶(7)径向外侧且沿旋转靶(7)轴向延伸，所述导轨滑块(2)与所述直线导轨(1)滑动配合，所述场强测量探头(3)设置在所述导轨滑块(2)上的。本实用新型提供的用于直线测量旋转靶场强的治具，可实现旋转靶场强的直线测量，提高测量精度和效率。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶镀膜技术领域，特别涉及一种用于直线测量旋转靶场强的治具。

背景技术

在PVD镀膜行业中，用旋转靶镀膜的方式是最为常见的，在旋转靶内部装有磁铁固定座，并有磁铁排布。根据工艺的均匀性需求，磁铁场强越均匀，工艺就越稳定。当然，在正常消耗中，靶材因本身也会发热，如果发热量过大，很容易导致磁铁场强衰减。

现有技术中，一般手持高斯计探头进行测量，但是不能保证测量点位是否在一条直线上，对检测的结果也存在一定误差。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种用于直线测量旋转靶场强的治具，可保证旋转靶场强的测量点位在一条直线上，减少手动测量的误差。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

用于直线测量旋转靶场强的治具，包括直线导轨、导轨滑块、及场强测量探头，所述直线导轨设置在旋转靶径向外侧且沿旋转靶轴向延伸，所述导轨滑块与所述直线导轨滑动配合，所述场强测量探头设置在所述导轨滑块上。

在其中的一个实施例中，所述直线导轨的两端分别经固定座固定在所述旋转靶上。

在其中的一个实施例中，所述固定座包括上固定座和下固定座，所述上固定座、下固定座经紧固件固定在所述旋转靶周向上，所述上固定座上设有导轨连接件，所述直线导轨固定在所述导轨连接件上。

在其中的一个实施例中，所述上固定座、下固定座分别设有与所述旋转靶匹配的弧状卡口。

在其中的一个实施例中，所述导轨连接件包括固定在所述上固定座上端面的第一连接部、及沿所述旋转靶轴向延伸的第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部连接呈T型。

在其中的一个实施例中，所述场强测量探头经探头固定件固定在所述导轨滑块上。

在其中的一个实施例中，所述探头固定件包括对称布置在所述导轨滑块移动方向两侧的两个固定块，所述场强测量探头固定在其中一个固定块上。

在其中的一个实施例中，所述固定块下部设有探头限位槽，所述场强测量探头经固定盖板被固定在所述探头限位槽内。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：

采用本实用新型的技术方案，将场强测量探头设置在直线导轨上，可保证旋转靶场强检测时点位位于同一直线上，减少手动测量的误差，提高检测精度，无需用肉眼观察点位，提高测量效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型用于直线测量旋转靶场强的治具实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的安装结构示意图一；

图3为本实用新型实施例的安装结构示意图二

其中：

1、直线导轨；

2、导轨滑块；

3、场强测量探头；