[实用新型]一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉

说明书

本实用新型公开一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统，所述炉门设在所述炉管的管口处，所述加热器设在所述炉管外管壁上，所述进气系统与所述炉管连通，所述抽气系统与所述炉管连通，所述传送浆设在所述炉门外侧，所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上，所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。采用多个硅片承载舟进炉管同时扩散的方式，大大提高晶硅太阳能电池扩散炉产量的目的。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉。

背景技术

太阳能电池按照基体材料来区分，可分为非硅太阳能电池和硅基太阳能电池，其中硅基太阳能电池为光伏市场主流，以其制造工作简单，成本低，深受各电池制造商的青睐。硅基太阳能电池又分为多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池和硅基薄膜电池；多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池统称为晶体硅太阳能电池，占光伏市场总容量的90%左右。

p-n结是晶体硅太阳能电池的的心脏，因此在制备流程中，扩散工序显得尤为重要。扩散形成p-n结有三种工艺：三氯氧磷（POCl3）液态源扩散；喷涂磷酸水溶液后链式扩散；丝网印刷磷浆料后链式扩散；目前三氯氧磷（POCl3）液态源扩散是最普遍最有效的扩散手段。三氯氧磷（POCl3）液态源扩散需要借助扩散炉来进行，硅片插入石英舟，通过碳化硅浆负载，然后传送至扩散炉腔中；待关闭炉门后，开始进行三氯氧磷的扩散制备p-n结。为了降低制造成本，要求开发产能更高的扩散炉；但是由于碳化硅和石英舟均为脆性材料，负重能力有限，因此制约了高产能扩散炉的开发。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：传统太阳能电池扩散炉产能低的问题。

本实用新型解决该技术问题采用的技术方案是：

一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉，其特征在于：包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统，所述炉门设在所述炉管的管口处，所述加热器设在所述炉管外管壁上，所述进气系统与所述炉管连通，所述抽气系统与所述炉管连通，所述传送浆设在所述炉门外侧，所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上，所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。

作为上述方案的改进，所述传送浆的材料为耐高温且超硬材质。

作为上述方案的改进，所述传送浆的材料为碳化硅。

作为上述方案的改进，所述硅片承载舟的材料为耐高温且表面光滑材质。

作为上述方案的改进，所述硅片承载舟的材料为石英。

作为上述方案的改进，所述硅片承载舟承载硅片数量为600-1500片。

作为上述方案的改进，所述炉管容纳硅片承载舟数量为二至五个。

本实用新型的有益效果是：采用多个硅片承载舟进炉管同时扩散的方式，大大提高晶硅太阳能电池扩散炉产量的目的。

附图说明

图1是本实用新型实施例示意图

图中：1.传送浆，2.硅片承载舟，3. 硅片，4.炉门，5.加热器，6.炉管，7.进气系统，8.抽气系统。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。