[实用新型]节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统

说明书

本实用新型公开了一种节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统，由制冷系统、载冷剂循环系统和控制器组成；制冷系统包括制冷压缩机、冷凝器、干燥过滤器、前级节流电动调节阀、旁通电动调节阀，制冷压缩机排气口通过三通管一路经冷凝器、干燥过滤器与所述前级节流电动调节阀进口连通，另一路与旁通电动调节阀进口连通；前级节流电动调节阀出口和旁通电动调节阀出口与换热器的制冷剂通道进口连通，换热器的制冷剂通道出口与制冷压缩机吸气口连通；载冷剂循环系统为输送泵；输送泵进口与换热器的载冷剂通道出口连通，输送泵出口与负载换热通道进口连通，负载换热通道出口与换热器的载冷剂通道进口连通。本实用新型实现对制冷系统制冷量的精密控制。

技术领域

本实用新型涉及制冷系统，尤其是涉及节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统。

背景技术

半导体制造装备、电池制造装备、PCB制造装备等均需要温度控制系统，该温度控制系统要求的制冷量调节能力和温度控制精度更高。目前，用于上述制造装备的温度控制系统，多是采用一个压力自动比例调节阀来控制开度，一个旁通电磁阀按照设定的温度，根据时间比例调节方式控制平均开度的方法来控制温度。其存在的不足是：所控制的温度波动范围较大；旁通电磁阀采用时间比例调节方式控制，导致开关频率对系统造成冲击，旁路电磁阀频繁开关使其寿命缩短、吸合噪声大。

发明内容

本实用新型目的是提供一种节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统，由制冷系统、载冷剂循环系统和控制器组成；所述制冷系统包括制冷压缩机、冷凝器、干燥过滤器、前级节流电动调节阀、旁通电动调节阀，所述制冷压缩机排气口通过三通管一路经所述冷凝器、干燥过滤器与所述前级节流电动调节阀进口连通，另一路与所述旁通电动调节阀进口连通；前级节流电动调节阀出口和旁通电动调节阀出口与换热器的制冷剂通道进口连通，换热器的制冷剂通道出口与制冷压缩机吸气口连通；所述载冷剂循环系统为输送泵；所述输送泵进口与所述换热器的载冷剂通道出口连通，输送泵出口与负载换热通道进口连通，所述负载换热通道出口与换热器的所述载冷剂通道进口连通；在输送泵出口处设置有用于检测载冷剂温度的温度传感器，所述温度传感器的检测信号输出端与所述控制器的检测信号输入端连接；前级节流电动调节阀、旁通电动调节阀的执行机构控制信号输入端分别与控制器的控制信号输出端连接。

本实用新型采用前级节流电动调节阀作为前级执行器，旁通电动调节阀作为后级执行器。前级执行器调节常温高压制冷剂液体进入换热器的流量，后级执行器调节高温高压制冷剂蒸汽进入换热器的流量。控制器按照预设程序比例控制方式对前级节流电动调节阀和旁通电动调节阀的开度进行互逆调节，实现对制冷系统制冷量的精密控制，从而使得载冷剂的温度波动度大为减小，系统不产生冲击现象，同时也大大减小了噪音，提高了系统的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型所述节流与热气旁通耦合的制冷量调节系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述实施例。