[实用新型]应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构有效

专利信息
申请号: 201922201013.6 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN210925959U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 张俞峰 申请(专利权)人: 昆山沃得福自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 赵红霞
地址: 215300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 应用于 ic 芯片 烧制 设备 位置 检测 机构
【权利要求书】:

1.应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,设置在IC芯片烧制设备的基台上,并且位于IC芯片烧制设备的拾取吸盘机构运行路径上,其特征在于:

包括装载基板和位于所述装载基板底部的摄像机构,所述装载基板上设有透明区域,所述摄像机构的摄像端垂直向朝向所述透明区域,

所述基台上设有镂空通道,所述摄像机构设置于镂空通道内,所述装载基板固定设置在所述镂空通道的顶部敞口端。

2.根据权利要求1所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:

所述装载基板的顶面与所述基台的顶面相水平设置。

3.根据权利要求1所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:

所述透明区域的外周设有下沉式的补光源。

4.根据权利要求3所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:

所述透明区域为透明板,所述装载基板上设有镂空区,所述透明板可拆卸式固定在所述镂空区外周上。

5.根据权利要求4所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:

所述透明板上设有用于容载所述补光源的条槽。

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