[实用新型]应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构有效
| 申请号: | 201922201013.6 | 申请日: | 2019-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN210925959U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 张俞峰 | 申请(专利权)人: | 昆山沃得福自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 赵红霞 |
| 地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 应用于 ic 芯片 烧制 设备 位置 检测 机构 | ||
1.应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,设置在IC芯片烧制设备的基台上,并且位于IC芯片烧制设备的拾取吸盘机构运行路径上,其特征在于:
包括装载基板和位于所述装载基板底部的摄像机构,所述装载基板上设有透明区域,所述摄像机构的摄像端垂直向朝向所述透明区域,
所述基台上设有镂空通道,所述摄像机构设置于镂空通道内,所述装载基板固定设置在所述镂空通道的顶部敞口端。
2.根据权利要求1所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:
所述装载基板的顶面与所述基台的顶面相水平设置。
3.根据权利要求1所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:
所述透明区域的外周设有下沉式的补光源。
4.根据权利要求3所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:
所述透明区域为透明板,所述装载基板上设有镂空区,所述透明板可拆卸式固定在所述镂空区外周上。
5.根据权利要求4所述应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,其特征在于:
所述透明板上设有用于容载所述补光源的条槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





