[实用新型]一种水平光伏扩散自动化设备有效
| 申请号: | 201922196287.0 | 申请日: | 2019-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN210692565U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
| 发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;马力 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 孙彬 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 水平 扩散 自动化 设备 | ||
1.一种水平光伏扩散自动化设备,包括第一工作模块(1)和第二工作模块(2),其特征在于,所述第一工作模块(1)包括第一框架(11)、对接输送机(3)和石英舟搬运机构(4),所述对接输送机(3)数量为2,所述两个对接输送机(3)在第一框架(11)上对称设置,所述石英舟搬运机构(4)位于两个对接输送机(3)之间,所述对接输送机(3)和石英舟搬运机构(4)均设置于第一框架(11)上,所述第二工作模块(2)包括石英舟周转机构(5)、分合片机构(6)、取方阻片机构(7)和装卸料机构(8),所述石英舟周转机构(5)位于第一工作模块(1)和第二工作模块(2)之间,所述分合片机构(6)呈倒U型设置在石英舟周转机构(5)上方,所述取方阻片机构(7)呈倒U型与分合片机构(6)平行设置,所述装卸料机构(8)数量为2,所述两个装卸料机构(8)对称设置在石英舟周转机构(5)的两侧,所述石英舟周转机构(5)、分合片机构(6)、取方阻片机构(7)和装卸料机构(8)均设置于第二框架(21)上。
2.根据权利要求1所述一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述取方阻片机构(7)包括取方阻片机构支架(71)、取方阻片机构左右移动滑轨(72)、取方阻片机构升降组件(73)、取方阻片机构左右移动齿轮齿条(74)、取方阻片机构左右移动电机(75)、取方阻片机构前后移动组件(76)和吸盘(77),所述取方阻片机构支架(71)与第二框架(21)连接,所述取方阻片机构左右移动滑轨(72)设置于取方阻片机构支架(71)上部,所述取方阻片机构升降组件(73)通过取方阻片机构左右移动齿轮齿条(74)与取方阻片机构左右移动滑轨(72)连接,所述取方阻片机构左右移动电机(75)与取方阻片机构左右移动齿轮齿条(74)连接,所述取方阻片机构前后移动组件(76)设置于取方阻片机构升降组件(73)下部,所述吸盘(77)设置于取方阻片机构前后移动组件(76)下部。
3.根据权利要求1所述的一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述对接输送机(3)包括输送机升降组件(31)、第一输送机(32)、第二输送机(33)和输送机横移组件(34),所述输送机升降组件(31)和输送机横移组件(34)均与第一框架(11)连接,所述第一输送机(32)设置于输送机升降组件(31)上部,所述第二输送机(33)设置于输送机横移组件(34)上部,所述第一输送机(32)和第二输送机(33)为平行设置。
4.根据权利要求1所述的一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述石英舟搬运机构(4)包括机器人(41)和搬运夹爪(42),所述机器人(41)与第一框架(11)连接,所述搬运夹爪(42)设置于机器人(41)上。
5.根据权利要求1所述的一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述石英舟周转机构(5)包括周转机构顶齿升降组件(51)、周转机构定位平台(52)、周转机构规整组件(53)和石英舟移动组件(54),所述周转机构顶齿升降组件(51)与第二框架(21)连接,所述周转机构定位平台(52)设置于周转机构顶齿升降组件(51)上部,所述石英舟移动组件(54)设置于周转机构定位平台(52)上部,所述周转机构规整组件(53)呈倒U型与周转机构定位平台(52)连接。
6.根据权利要求1所述一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述分合片机构(6)包括分合片机构支架(61)、分合片机构左右移动滑轨(62)、分合片机构升降组件(63)、分合片机构左右移动齿轮齿条(64)、分合片机构左右移动电机(65)和分合片夹爪(66),所述分合片机构支架(61)与第二框架(21)连接,所述分合片机构左右移动滑轨(62)设置于分合片机构支架(61)上部,所述分合片机构升降组件(63)通过分合片机构左右移动齿轮齿条(64)与分合片机构左右移动滑轨(62)连接,所述分合片机构左右移动电机(65)与分合片机构左右移动齿轮齿条(64)连接,所述分合片夹爪(66)设置于分合片机构升降组件(63)下部,所述分合片机构升降组件(63)、分合片机构左右移动电机(65)和分合片夹爪(66)数量为2。
7.根据权利要求1所述一种水平光伏扩散自动化设备,其特征在于,所述装卸料机构(8)包括装卸料机构顶齿升降组件(81)、装卸料机构定位平台(82)、装卸料机构规整组件(83)和花篮移动组件(84),所述装卸料机构顶齿升降组件(81)与第二框架(21)连接,所述装卸料机构定位平台(82)设置于装卸料机构顶齿升降组件(81)上部,所述花篮移动组件(84)设置于装卸料机构定位平台(82)上部,所述装卸料机构规整组件(83)呈倒U型与装卸料机构定位平台(82)连接。
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