[实用新型]一种紧凑型二维微镜

权利要求书

1.一种紧凑型二维微镜，其特征在于：包括镜面(111)、可动框架(112)和第一扭转轴(113a)，所述可动框架(112)环绕所述镜面(111)设置；

所述镜面(111)设有凹槽，所述第一扭转轴(113a)设于所述凹槽内，所述第一扭转轴(113a)的一端和所述凹槽底部相连，所述第一扭转轴(113a)的另一端超出所述凹槽顶部与所述可动框架(112)相连；

所述镜面(111)的边缘设有第一动梳齿(114a)，所述第一动梳齿(114a)沿Y轴方向排布，所述可动框架(112)上靠近所述镜面(111)的一侧设有第一静梳齿(114b)，所述第一静梳齿(114b)和所述第一动梳齿(114a)同一平面内交错排布。

2.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：所述二维微镜由SOI晶圆制成，所述SOI晶圆包括第一器件层(110)；

所述镜面(111)、所述可动框架(112)和所述第一扭转轴(113a)均位于所述第一器件层(110)；

所述第一器件层(110)还包括驱动杆(115)，所述驱动杆(115)沿X轴方向设置，所述驱动杆(115)的一端和所述可动框架(112)刚性连接，所述驱动杆(115)上设有第二动梳齿(116)。

3.根据权利要求2所述的二维微镜，其特征在于：所述SOI晶圆还包括第二器件层(310)；

所述第二器件层(310)设有第二静梳齿(316)，所述第二静梳齿(316)和所述第二动梳齿(116)垂直方向上交错排布。

4.根据权利要求2所述的二维微镜，其特征在于：

所述第一器件层(110)还包括第二扭转轴(113b)和第一固定框架(117)，所述第一固定框架(117)设于所述可动框架(112)外围，所述第二扭转轴(113b)的一端和所述可动框架(112)相连，所述第二扭转轴(113b) 的另一端和所述第一固定框架(117)相连。

5.根据权利要求4所述的二维微镜，其特征在于：所述第二动梳齿(116)包括第二外梳齿(116m)和第二内梳齿(116n)；

所述第二外梳齿(116m)排布在所述驱动杆(115)靠近所述第一固定框架(117)的一侧，所述第二内梳齿(116n)排布在所述驱动杆(115)远离所述第一固定框架(117)的一侧。

6.根据权利要求5所述的二维微镜，其特征在于：

所述第一固定框架(117)靠近所述可动框架(112)的一侧设有锚点(118)，所述锚点(118)向所述镜面(111)方向延伸有连接杆(119)，所述连接杆(119)的一端和所述锚点(118)相连，所述连接杆(119)的另一端和所述第二扭转轴(113b)相连。

7.根据权利要求6所述的二维微镜，其特征在于：所述驱动杆(115)的数量为4个，其中两个所述驱动杆(115)分布于所述可动框架(112)的一侧，另两个所述驱动杆(115)对称分布于所述可动框架(112)的另一侧；

所述连接杆(119)的数量为2个，其中一个所述连接杆(119)位于其中两个所述驱动杆(115)之间，另一个所述连接杆(119)位于另两个所述驱动杆(115)之间。

8.根据权利要求3所述的二维微镜，其特征在于：所述可动框架(112)上设有第一电隔离槽(120)，所述第一电隔离槽(120)为分隔式电隔离槽，所述第一电隔离槽(120)将所述镜面(111)和所述可动框架(112)电隔离；

所述第二器件层(310)包括加固框架(312)，所述加固框架(312)和所述可动框架(112)的位置相配合；

所述加固框架(312)的宽度为T1，所述可动框架(112)的宽度为T2，其中0.5≤T1/T2≤1.5。

9.根据权利要求8所述的二维微镜，其特征在于：所述第一电隔离槽(120)朝所述镜面(111)延伸的一端的宽度逐渐增大。

10.根据权利要求8所述的二维微镜，其特征在于：

所述可动框架(112)上还设有若干个减重孔(123)，所述减重孔(123)分布在所述第一电隔离槽(120)关于X轴和Y轴对称的位置。