[实用新型]一种碳化硅炉装卸热场的结构

说明书

本实用新型涉及碳化硅炉装卸热场的领域，特别涉及一种碳化硅炉装卸热场的结构。包括机架平台，机架平台包括矩形底板，矩形底板上端面四角设有四根方形立柱，相邻方形立柱顶端通过横梁相连；炉底板上方设有防尘管，定位托盘置于防尘管顶端；装卸热场机构包括设于其中一立柱中部的旋转组件，旋转组件与水平转臂一端相连；热场升降机构包括设于机架内的升降组件，炉底板与升降组件相连。本实用新型采用上述的技术方案：能够实现半自动及自动将热场从设备中取出，操作安全、简单，提高热场部件的装卸效率；同时，避免了现有技术人工取热场的烫伤安全隐患。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅炉装卸热场的领域，特别涉及一种碳化硅炉自动装卸热场的结构。

背景技术

碳化硅单晶生长炉在长晶完成后需要从生长炉中取出热场中已经生长完成的产品，一般产品在设备中需要冷却数10小时才能保证取出热场冷却完毕，为提高生产效率，一般取出热场温度均较高，人工取放容易烫伤操作人员。

碳化硅单晶生长炉中底部取出热场中的产品需要借助特殊工装取出，设备内操作空间受限，目前常见的方法是使用专用液压叉车将热场连带炉底板一起取出后拿出该产品，待取出产品后需将新准备的原料投放到热场中，再次使用专用液压叉车放置于设备内部，该方法操作不方便，难以保证装卸定位的一致性，在操作过程有重型物料移动，危险性较大。

该设备在使用过程中对车间环境以及热场的纯度要求较高，装料、取料过程中保证在无尘车间进行，防止污染热场以及产品。

为解决这一问题，急需提供一种能够应用于碳化硅炉装卸热场的结构。

实用新型内容

本使用新型的目的在于：克服现有技术的不足，提供一种碳化硅炉装卸热场的结构。

为解决上述的技术问题，本实用新型采用的解决方法是：

提供一种用于碳化硅炉装卸热场的结构，包括机架平台、炉底板机构、热场、装卸热场机构、和热场升降机构。

机架平台包括矩形底板，矩形底板上端面四角设有四根方形立柱，相邻方形立柱顶端通过横梁相连；

炉底板机构的结构包括用于炉体密封的炉底板，炉底板上方设有防尘管，定位托盘置于防尘管顶端；热场置于定位托盘上；

装卸热场机构包括设于其中一立柱中部的旋转组件，旋转组件与水平转臂一端相连，转臂另一端设有水平调整机构；水平调整机构包括支撑板，支撑板顶部设有楔形缺口，支撑板底端通过螺杆与转臂相连；支撑板通过螺杆相对于转臂前后俯仰、左右角度能调；

热场升降机构包括设于机架内的升降组件，炉底板与升降组件相连。

作为一种改进，定位托盘为伞型结构，中间为中空圆锥台结构，方便与防尘管导向配合，顶部内圈有三处导向斜角的锥型缺口，与转臂上的楔形缺口配合，起到导向定位和止转的作用。

作为一种改进，楔形缺口内设有限位挡片、上升动作检测传感器、下降动作检测传感器和物料检测传感器。

作为一种改进，旋转组件包括设于立柱上的固定底座，固定底座内设有竖向旋转驱动轴，旋转驱动轴底端设有伺服电机，水平转臂一端与旋转驱动轴相连。

作为一种改进，固定底座上设有旋转限位传感器。

作为一种改进，升降组件包括沿竖向设于其中一横梁与底板间的丝杆和导向轴，丝杆和导向轴均与炉底板相连，导向轴为炉底板运动提供导向，丝杆顶端连接减速机和伺服电机；丝杆顶端设有上限位检测传感器，底端设有下限位检测传感器。

作为一种改进，炉底板底部设有用于减震的弹簧。

作为一种改进，矩形底板底部设有底脚和万向轮。