[实用新型]一种夹紧机构以及硅棒夹紧组件

说明书

本实用新型提供了一种夹紧机构以及具有该夹紧机构的硅棒夹紧组件，所述夹紧机构用以与粘接有硅棒的工件板相配合，包括：基板，所述基板向内凹陷形成有收容腔，所述收容腔包括腔底壁以及位于所述腔底壁两侧的腔侧壁；所述腔底壁、腔侧壁被设置为使得所述收容腔的截面呈梯形；机械臂，所述机械臂与工件板相配合，以使得所述工件板在所述机械臂的作用下紧紧抵持所述腔侧壁；以及压力传感器，所述压力传感器安装在所述腔侧壁上，以检测所述腔侧壁所受到的压力值。相较于现有技术，本实用新型夹紧机构可以很方便地检测夹紧力，以便根据夹紧力判断工件板是否被可靠地夹紧固定，进而解决了因硅棒夹紧不牢靠而导致硅片表面产生密集线痕的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种夹紧机构以及硅棒夹紧组件，用于单、多晶硅棒的金刚线切片领域。

背景技术

现有金刚线切片机加工硅片时，经常会在硅片两侧出现严重的密集线痕(俗称“搓衣板”线痕)，并且该线痕的深度较深。按照行业内的硅片分选标准，这一刀(加工一次称为一刀，大约长度为700mm的硅棒)的硅片均判定为C级线痕片。这导致了整刀硅片的合格率为零，严重影响了硅片加工良率，导致总体的硅片合格率较低，硅片加工成本升高。

经过仔细地排查研究分析，引起以上异常的原因是目前切片机夹紧机构设计上存在缺陷。金刚线切片机执行夹紧硅棒的指令以后，缺少相关方法和手段来检查硅棒是否真正地被夹紧机构夹紧、夹紧力是否充足等等。如果出现个别粘接有硅棒的工件板与切片机夹紧机构不匹配，或者出现夹紧力不够或未夹紧的情况，这将导致切割过程中的硅棒被2000多根钢线一起牵引着发生位移晃动，从而在硅片表面上出现严重线痕。

进一步研究分析发现，个别工件板与切片机夹紧机构出现未夹紧或夹紧力不够的原因为：切片机夹紧机构和工件板接触的地方在长期使用后磨损严重，减薄量较大，从而导致夹紧机构的机械手出现磨损，进而使得夹紧力降低。并且，目前的夹紧机构和工件板均为一体结构，出现磨损以后不方便更换，且更换备件的成本较高。

鉴于上述问题，有必要提供一种新的夹紧机构，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹紧机构以及具有该夹紧机构的硅棒夹紧组件，该夹紧机构可以很方便地检测夹紧力，以便根据夹紧力判断工件板是否被可靠地夹紧固定，进而解决了因硅棒夹紧不牢靠而导致硅片表面产生密集线痕的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种夹紧机构，用以与粘接有硅棒的工件板相配合，包括：基板，所述基板向内凹陷形成有收容腔，所述收容腔包括腔底壁以及位于所述腔底壁两侧的腔侧壁；所述腔底壁、腔侧壁被设置为使得所述收容腔的截面呈梯形；机械臂，所述机械臂安装在所述基板上并与所述工件板相配合，以使得所述工件板在所述机械臂的作用下紧紧抵持所述腔侧壁；以及压力传感器，所述压力传感器安装在所述腔侧壁上，以检测所述腔侧壁所受到的压力值。

作为本实用新型的进一步改进，所述腔底壁设置有距离传感器以检测工件板与所述腔底壁之间的距离。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹紧机构还包括安装在所述基板上的支撑件，所述支撑件包括安装部以及自所述安装部向外延伸形成的支撑臂；所述支撑臂突伸入所述收容腔，并与所述腔底壁平行。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑臂面向所述腔底壁的一侧设置有耐磨垫板。

作为本实用新型的进一步改进，所述腔底壁与所述腔侧壁之间的夹角为钝角。