[实用新型]用于半导体集成芯片的可靠性检测装置有效
申请号: | 201922192960.3 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN211698067U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 彭兴义 | 申请(专利权)人: | 盐城芯丰微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
地址: | 224100 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 半导体 集成 芯片 可靠性 检测 装置 | ||
1.一种用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:包括长条板(12)、转接板(17)和测试板(18),所述测试板(18)设置于转接板(17)的一侧表面并位于转接板(17)与长条板(12)之间,所述转接板(17)通过导线与测试机构连接,所述长条板(12)与转接板(17)之间通过至少两个连接件(11)固定连接;
所述长条板(12)上并位于测试板(18)两侧分别开有一长条槽(9),两个所述长条槽(9)内分别设置有一连接块(1),此两个连接块(1)各自的一端连接有一挡板(13),此两个连接块(1)各自的另一端连接有一第一安装板(2),两个所述挡板(13)位于连接有测试板(18)的长条板(12)的一侧,两个所述第一安装板(2)位于相背于测试板(18)的长条板(12)的另一侧;
所述长条板(12)表面两端分别固定有一与第一安装板(2)对应的第二固定板(14),此第二固定板(14)与对应的第一安装板(2)面对面设置,一螺杆(4)的一端贯穿第二固定板(14)并与第一安装板(2)连接,此螺杆(4)的另一端固定连接有一第二安装板(6),所述第二固定板(14)通过一具有内螺纹的螺管(5)与螺杆(4)连接;
所述第一安装板(2)的两个端面上分别连接有一滑动块(10),所述长条板(12)上并位于滑动块(10)两侧分别固定有一第一固定板(7),位于同一个滑动块(10)两侧的两个第一固定板(7)之间连接有一固定杆(3),所述滑动块(10)可滑动的套装于所述固定杆(3)上,所述固定杆(3)上还套装有一拉伸弹簧(8),此拉伸弹簧(8)的两端分别与滑动块(10)和其中一个第一固定板(7)连接。
2.根据权利要求1所述的用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:所述第一固定板(7)与长条板(12)通过焊接固定连接。
3.根据权利要求1所述的用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:所述滑动块(10)通过焊接连接于第一安装板(2)的两个端面上。
4.根据权利要求1所述的用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:所述测试机构包括集成电路测试仪,所述集成电路测试仪通过导线与电脑连接,所述集成电路测试仪通过导线与转接板(17)连接。
5.根据权利要求1所述的用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:所述连接件(11)呈凹形状,此连接件(11)的两端通过螺钉分别与转接板(17)、长条板(12)连接。
6.根据权利要求1所述的用于半导体集成芯片的可靠性检测装置,其特征在于:所述转接板(17)表面的四个拐角处均通过螺钉连接有一安装件(16),四个安装件(16)的端部均开设有螺孔(15)。
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