[实用新型]一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置

说明书

本实用新型涉及陶瓷靶材生胚技术领域，且公开了一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置，包括基台，所述基台的顶部固定连接有浆料受压桶，所述浆料受压桶的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室，两个所述蓄水腔室的内侧固定连通有流液孔，两个所述流液孔的内侧固定安装有渗滤网格，两个所述蓄水腔室的顶部均固定连通有排水管，所述基台的顶部中间部位开设有凹槽，所述凹槽的内壁活动连接有支座板；通过将陶瓷粉原浆料倒入浆料受压桶中，上部螺纹帽与上部螺纹杆进行螺纹转动，上部螺纹杆向下运动，上部螺纹杆下压带动压力铁块下压，压力铁块下压至浆料受压桶内的浆料处开始挤压浆料，从而达到了控制陶瓷靶材胚体含水量的效果。

技术领域

本实用新型涉及陶瓷靶材生胚技术领域，具体为一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置。

背景技术

薄膜材料随着电子信息产业的发展使用越来越频繁，靶材的性能决定薄膜材料的产品质量，而陶瓷靶材主要应用于集成电路、信息存储和激光存储器等。过去通过粉末冶金法生产出所有种类的较高密度的陶瓷靶材，但是这种方法生产周期长、工序复杂而且生产成本高。后来的生胚生产过程主要是将陶瓷粉料配成具有流动性的泥浆，然后注入多孔模具内，水分在被石膏吸入后便形成了具有一定厚度的均匀泥层，脱水干燥过程中同时形成具有一定强度的坯体，但是这种方法生产的胚体的含水量过大，水分过滤不充分，且成胚的密度不易控制，同时也不易控制形状。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置，具备生产的胚体含水不易控制且胚体形状易于控制的优点，解决了目前所使用的生产方法生产的胚体含水量不易控制且胚形状不易控制的问题。

(二)技术方案

为实现上述生产的胚体含水量便于控制且胚体形状易于控制的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置，包括基台，所述基台的底部固定连接有支架，所述基台的顶部固定连接有浆料受压桶，所述浆料受压桶的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室，两个所述蓄水腔室的内侧固定连通有流液孔，两个所述流液孔的内侧固定安装有渗滤网格，两个所述蓄水腔室的顶部均固定连通有排水管，所述基台的顶部中间部位开设有凹槽，所述凹槽的内壁活动连接有支座板，所述支座板的底部固定连接有下部螺纹杆，所述下部螺纹杆的外部活动套接有下部螺纹帽，所述下部螺纹帽的外壁固定连接有下部手柄，所述浆料受压桶的顶部固定连接有支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有连接杆，所述连接杆的中间活动连接有上部螺纹杆，所述上部螺纹杆的外壁活动套接有上部螺纹帽，所述上部螺纹帽的外壁固定连接有上部手柄，所述上部螺纹杆的底部固定连接有压力铁块，所述浆料受压桶的内壁固定安装有橡胶，所述浆料受压桶的外壁固定安装有观察窗口。

优选的，所述蓄水腔室的外壁厚度为一厘米，所述流液孔的顶部与浆料受压桶固定连接，所述流液孔的底部与基台的顶部固定连接，所述渗滤网格为两百目的网格。

优选的，所述排水管的顶部与蓄水腔室的底部平齐，所述排水管的底部可以外接盛液容器，所述排水管的长度大于基台的厚度，所述蓄水腔室底部与排水管接触处开设有漏斗状凹槽。

优选的，所述压力铁块的外壁和浆料受压桶的内壁均安装有橡胶，且浆料受压桶内壁的橡胶底部与渗滤网格的顶部固定连接，且连接处涂抹有胶水，所述浆料受压桶内壁的橡胶的厚度与渗滤网格的厚度相等。

优选的，所述凹槽的底部表面与支座板的底部表面均安装有橡胶片，且支座板的外壁与凹槽无缝连接，所述上部螺纹帽的底部和下部螺纹帽的顶部分别活动嵌套在连接杆的顶部和基台的底部。

优选的，所述浆料受压桶的正前方外壁安装有观察窗口，所述观察窗口的基座是由钢化玻璃制作而成，观察窗口的外侧表面刻有刻度尺，且观察窗口的厚度等于渗滤网格的厚度加上浆料受压桶外壁的厚度，观察窗口的高度等于渗滤网格的高度。

(三)有益效果