[实用新型]一种长条高真空阴极电弧靶装置

权利要求书

1.一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于安装长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，包括：主支撑架、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；所述主支撑架上安装所述旋转部件；所述旋转部件与所述阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；所述真空室作为阳极，所述阳极与所述主支撑架连接；所述第一屏蔽环固定在所述阳极上，屏蔽所述阴极靶材和真空室；所述屏蔽电极包裹所述阴极靶材，并且所述阴极靶材的内部设置有永磁体；所述触发电极安装在所述屏蔽电极上，并且所述触发电极与触发电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，所述旋转部件包括：电机、主动动齿轮、第一从动轮和旋转轴；所述第一从动轮安装在所述旋转轴上，所述电机的输出轴上安装所述主动动齿轮，并且所述主动动齿轮和所述第一从动轮相啮合；所述旋转轴与所述阴极靶材固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，所述屏蔽电极包括第一屏蔽电极、第二屏蔽电极和第三屏蔽电极；所述第一屏蔽电极连接限流电阻并接地，所述第二屏蔽电极和第三屏蔽电极屏蔽所述第一屏蔽电极和所述阳极。

4.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，还包括聚四氟屏蔽环、聚合物屏蔽极；所述聚四氟屏蔽环设置在所述主支撑架和所述聚合物屏蔽极之间；所述聚合物屏蔽极屏蔽所述阳极与所述阴极靶材。

5.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，所述阴极靶材末端安装有聚四氟屏蔽底座，所述聚四氟屏蔽底座上安装有第二从动齿轮，所述第二从动齿轮与所述阴极靶材配合。

6.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，所述触发电极与限流电阻连接并接地。

7.根据权利要求1所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，在所述触发电源的控制下所述触发电极接触阴极靶材引弧，阴极弧斑放电。

8.根据权利要求7所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，阴极弧斑在所述永磁体的作用下发生周期性的运动，围绕所述阴极靶材外长轴方向圆周运动。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种长条高真空阴极电弧靶装置，其特征在于，还包括冷却管道；所述冷却管道贯穿所述阴极靶材，内部通入冷却液。