[实用新型]一种可调节大小的硅片夹具

权利要求书

1.一种可调节大小的硅片夹具，其特征在于：包括安装板(1)、夹紧模块(2)、驱动模块(3)，夹紧模块(2)、驱动模块(3)分别安装于安装板(1)的两个面上，且驱动模块(3)驱动连接夹紧模块(2)；

夹紧模块(2)包括线性滑轨(21)、滑块连接板(22)、靠板安装板(23)、靠板(24)，线性滑轨(21)固定于安装板(1)的两端，每条线性滑轨(21)上滑动设置设有一块滑块连接板(22)，靠板安装板(23)卡接在滑块连接板(22)上，靠板(24)固定于靠板安装板(23)上；

驱动模块(3)包括驱动气缸(31)、旋转板(32)、连杆一(33)、连杆二(34)，驱动气缸(31)固定于安装板(1)，旋转板(32)转动安装于安装板(1)上，旋转板(32)的一端连接驱动气缸(31)、连杆一(33)，连杆一(33)的另一端连接一块滑块连接板(22)的底面，旋转板(32)的另一端连接连杆二(34)，连杆二(34)连接另一块滑块连接板(22)的底面；

滑块连接板(22)上设有多对定位销(221)，靠板安装板(23)上开设有与定位销(221)位置相对应的定位孔(231)，定位销(221)卡接于定位孔(231)内。

2.如权利要求1所述的可调节大小的硅片夹具，其特征在于：安装板(1)的一侧开设有通孔(11)，连杆二(34)穿过通孔(11)与连接板(22)相连接。

3.如权利要求1所述的可调节大小的硅片夹具，其特征在于：安装板(1)上设有硅片放置板(4)，硅片放置板(4)位于两块靠板安装板(23)之间。

4.如权利要求1所述的可调节大小的硅片夹具，其特征在于：靠板安装板(23)呈V形结构，两块靠板(24)安装于靠板安装板(23)的两端。

5.如权利要求1所述的可调节大小的硅片夹具，其特征在于：每条线性滑轨(21)上设有两个止顶销(5)，止顶销(5)设置于线性滑轨(21)的两端。