[实用新型]一种微小径工模具纳米涂层装置结构

权利要求书

1.一种微小径工模具纳米涂层装置结构，包括真空镀膜室(1)，其特征在于：所述真空镀膜室(1)左侧的顶部与底部均连通有与其固定连接的引出直管(2)，两个所述引出直管(2)的左侧均固定连接有弯管(3)，两个所述弯管(3)远离引出直管(2)的一端均固定连接有固定靶座(4)，两个所述固定靶座(4)相对的一侧均固定连接有电弧源(5)，两个所述弯管(3)的外侧均套设有与其固定连接的水冷管道(6)，两个所述水冷管道(6)的外侧均绕设有与其固定连接的稳弧线圈(7)，两个所述水冷管道(6)的外侧均绕设有与其固定连接的聚焦线圈(8)，两个所述稳弧线圈(7)分别与两个所述聚焦线圈(8)接触，两个所述引出直管(2)的外侧均绕设有与其固定连接的引出线圈(9)，所述真空镀膜室(1)的右侧固定连接有安装箱(10)，所述安装箱(10)的内部固定安装有电机(11)，所述电机(11)的输出轴上固定连接有转轴(12)，所述转轴(12)的左端依次贯穿安装箱(10)和真空镀膜室(1)，所述转轴(12)的左端延伸至真空镀膜室(1)的内部，所述转轴(12)与真空镀膜室(1)转动连接，所述转轴(12)的左端固定连接有旋转基片台(13)，所述旋转基片台(13)的左侧开设有均匀分布的凸形孔(14)，所述凸形孔(14)的内部均固定连接有夹紧机构(15)，所述真空镀膜室(1)内部的右侧均固定连接有等距离排列的加热器(16)，所述加热器(16)均位于旋转基片台(13)的右侧。

2.根据权利要求1所述的一种微小径工模具纳米涂层装置结构，其特征在于：所述夹紧机构(15)均包括栓轴(1501)，所述栓轴(1501)上均套设有弹簧(1502)，所述弹簧(1502)的右端均与凸形孔(14)固定连接，所述弹簧(1502)的左端均固定连接有夹板(1503)，所述夹板(1503)均与凸形孔(14)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种微小径工模具纳米涂层装置结构，其特征在于：两个所述引出直管(2)与两个弯管(3)之间均设置有绝缘圈(17)，两个所述绝缘圈(17)分别与两个引出直管(2)和弯管(3)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种微小径工模具纳米涂层装置结构，其特征在于：所述真空镀膜室(1)的右侧嵌设有骨架油封(18)，所述骨架油封(18)的内圈与转轴(12)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种微小径工模具纳米涂层装置结构，其特征在于：所述安装箱(10)的内部固定连接有减震垫(19)，所述减震垫(19)与电机(11)固定连接。