[实用新型]一种用于固相沉积检测的主机装置有效

专利信息
申请号: 201922154932.2 申请日: 2019-12-05
公开(公告)号: CN211179590U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 刘宝和;江海洋;刘菲;李成龙 申请(专利权)人: 扬州华宝石油仪器有限公司
主分类号: G01N25/00 分类号: G01N25/00;G01N21/84
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 王立普
地址: 225000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 沉积 检测 主机 装置
【权利要求书】:

1.一种用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:包括机架、摄像单元、筒体、大活塞、小活塞、光源,所述机架具有支撑轴,所述支撑轴能够与固相沉积分析仪的支架转动相连,所述筒体固定于所述机架上,所述支撑轴能够带动所述筒体摆动,所述筒体的轴线与所述支撑轴的轴线相垂直,所述筒体的外部套设有加热圈,加热圈能够对筒体进行加热,所述筒体内设置相连通的第一活塞腔和第二活塞腔,所述第一活塞腔与所述第二活塞腔分别设置于所述筒体相对的两侧,所述大活塞可滑动地设置于所述第一活塞腔内,所述小活塞可滑动地设置于所述第二活塞腔内,所述大活塞、所述小活塞上均套设有密封圈,所述大活塞、所述小活塞与所述筒体同轴设置,所述第一活塞腔和所述第二活塞腔均连接有排出通道,所述筒体的侧壁上具有贯穿所述第二活塞腔的透光孔,所述透光孔的两端均设置高压玻璃,所述高压玻璃与所述透光孔的侧壁之间设置密封组件,两个所述高压玻璃之间具有间隙,且两个所述高压玻璃之间的间隙与所述第二活塞腔相连通,所述摄像单元包括相连的CCD摄像机和显微粒度分析系统,所述CCD摄像机与所述光源分别设置于所述透光孔的两侧,所述光源的光线出射方向正对所述透光孔。

2.根据权利要求1所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述机架包括侧板和安装板,所述侧板和所述安装板的数量均为两块,两块所述侧板平行相对设置,所述侧板与所述支撑轴相连,两块所述安装板分别设置于所述筒体的两端并与所述侧板相连,所述安装板上具有允许所述大活塞、所述小活塞穿过的通孔。

3.根据权利要求2所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述筒体的外部设置保温套,所述保温套的两端分别与所述安装板相连,所述CCD摄像机与所述光源设置于所述保温套的外部,所述保温套上设置有与所述透光孔相匹配的通过孔。

4.根据权利要求1所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述小活塞靠近所述大活塞的一端具有圆锥部,所述圆锥部设置有排出孔,所述排出孔与所述排出通道相连通。

5.根据权利要求2所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述筒体的两端通过螺栓与所述安装板相连,所述筒体与所述安装板之间设置隔热板。

6.根据权利要求1所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述透光孔处设置压板,所述压板与所述筒体相连,所述压板与所述高压玻璃抵接,所述压板能够将所述高压玻璃压紧在所述筒体上,所述压板具有与所述透光孔相匹配的孔洞。

7.根据权利要求6所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述高压玻璃的轴向截面为T形,所述透光孔为与所述高压玻璃相适配的阶梯孔。

8.根据权利要求7所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述压板为环形,所述密封组件包括多个间隔设置的垫圈和O型圈。

9.根据权利要求2所述的用于固相沉积检测的主机装置,其特征在于:所述侧板与所述安装板之间设置定位键,所述侧板与所述安装板通过螺钉连接。

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