[实用新型]一种靶材的喷砂遮蔽治具有效
| 申请号： | 201922146924.3 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN211361908U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;徐荣彬 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 遮蔽 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述喷砂遮蔽治具包括靶材、遮板、定位块及压块；
所述遮板设置于靶材的非喷砂面；
所述定位块用于遮板的定位；
所述压块设置于遮板之上。
2.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述靶材包括溅射靶材。
3.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述遮板为轻质金属板或轻质合金板中的一种。
4.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述遮板的硬度HB为60-150。
5.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述定位块为L型定位块。
6.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述定位块至少包括2个。
7.如权利要求1所述的靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述压块用于固定遮板；所述定位块在设置压块后拆除。
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