[实用新型]排液装置及晶圆处理设备有效
申请号: | 201922143158.5 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN210837678U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 陈创 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤 |
地址: | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 处理 设备 | ||
1.一种排液装置,其特征在于,包括:
排液管,用于排液;
过滤器,设置至所述排液管,用于滤除流入至所述排液管内的液体中的固体杂质,所述过滤器包括至少两个滤网,且所有所述滤网层叠设置。
2.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器中至少有两个滤网的网眼大小不同。
3.根据权利要求2所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器的各个滤网的网眼尺寸均不相同,且所述滤网按网眼的尺寸大小依次排布于所述排液管内。
4.根据权利要求3所述的排液装置,其特征在于,网眼最大的滤网距离所述排液管的入口最近,网眼最小的滤网距离所述排液管的入口最远。
5.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述滤网由聚醚醚酮、聚四氟乙烯、石英中的至少一种制成。
6.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述滤网包括实心区域以及网眼区域,所述网眼区域内设置有网眼,且所述网眼区域环绕所述实心区域设置,呈环状。
7.根据权利要求2所述的排液装置,其特征在于,所述滤网随网眼大小的不同配置为不同的颜色。
8.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器包括第一滤网和第二滤网,所述第一滤网的网眼尺寸大于第二滤网的网眼尺寸,且所述第一滤网靠近所述排液管的入口设置,所述第二滤网远离所述排液管的入口设置;所述第一滤网被设置为浅色滤网,所述第二滤网被设置为深色滤网。
9.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器可拆卸的安装至所述排液管,所述滤网也可拆卸的至安装至所述过滤器。
10.一种晶圆处理设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的排液装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造