[实用新型]排液装置及晶圆处理设备有效

专利信息
申请号: 201922143158.5 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN210837678U 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 陈创 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 孙佳胤
地址: 230001 安徽省合肥市蜀山*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 装置 处理 设备
【权利要求书】:

1.一种排液装置,其特征在于,包括:

排液管,用于排液;

过滤器,设置至所述排液管,用于滤除流入至所述排液管内的液体中的固体杂质,所述过滤器包括至少两个滤网,且所有所述滤网层叠设置。

2.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器中至少有两个滤网的网眼大小不同。

3.根据权利要求2所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器的各个滤网的网眼尺寸均不相同,且所述滤网按网眼的尺寸大小依次排布于所述排液管内。

4.根据权利要求3所述的排液装置,其特征在于,网眼最大的滤网距离所述排液管的入口最近,网眼最小的滤网距离所述排液管的入口最远。

5.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述滤网由聚醚醚酮、聚四氟乙烯、石英中的至少一种制成。

6.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述滤网包括实心区域以及网眼区域,所述网眼区域内设置有网眼,且所述网眼区域环绕所述实心区域设置,呈环状。

7.根据权利要求2所述的排液装置,其特征在于,所述滤网随网眼大小的不同配置为不同的颜色。

8.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器包括第一滤网和第二滤网,所述第一滤网的网眼尺寸大于第二滤网的网眼尺寸,且所述第一滤网靠近所述排液管的入口设置,所述第二滤网远离所述排液管的入口设置;所述第一滤网被设置为浅色滤网,所述第二滤网被设置为深色滤网。

9.根据权利要求1所述的排液装置,其特征在于,所述过滤器可拆卸的安装至所述排液管,所述滤网也可拆卸的至安装至所述过滤器。

10.一种晶圆处理设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的排液装置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司,未经长鑫存储技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922143158.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top