[实用新型]板带的限位防摆动机构

说明书

本实用新型板带的限位防摆动机构，包括工件杆、下板带、板带固定杆、下板带限位轨道、限位轴承、限位件增高垫，下板带限位轨道呈圆弧形设置，下板带限位轨道上表面设有轨道凹槽，下板带设于轨道凹槽内，下板带呈圆弧形长条片状设置，限位轴承设于下板带两端，工件杆的底端设于下板带上，板带固定杆固定设于下板带上，限位件增高垫设于下板带限位轨道下方，限位件增高垫设有多组，多组限位件增高垫均匀分布在下板带限位轨道下方。本实用新型属于镀膜设备技术领域，具体是一种防止镀膜工件悬挂杆的下板带在围绕靶材公转时摆动，保证工件杆上的产品与靶材的距离保持不变，从而提高成膜均匀性的板带的限位防摆动机构。

技术领域

本实用新型属于镀膜设备技术领域，具体是指板带的限位防摆动机构。

背景技术

镀膜一般采用直流磁控溅射法镀膜，现有的技术是将需要镀膜的产品悬挂在可以环绕靶材公转的工件杆上，工件杆上端挂在上轨道弹簧板上，上轨道弹簧板有稳定严格的限位，工件杆的下端连接下板带，而下板带没有足够的限位，工作时产品会随工件左右来回摆动，导致工件杆和靶材的距离波动，会严重影响到成膜效果，所以解决下板带的摆动问题就显得尤为重要了。

实用新型内容

为解决上述现有难题，本实用新型提供了一种可以防止镀膜工件悬挂杆的下板带在围绕靶材公转时摆动的限位机构，保证工件杆上的产品与靶材的距离保持不变，从而提高成膜均匀性。

本实用新型采取的技术方案如下：板带的限位防摆动机构，包括工件杆、下板带、板带固定杆、下板带限位轨道、限位轴承、限位件增高垫，所述下板带限位轨道呈圆弧形设置，所述下板带限位轨道上表面设有轨道凹槽，所述下板带设于轨道凹槽内，所述下板带呈圆弧形长条片状设置，所述限位轴承设于下板带两端，所述工件杆的底端设于下板带上，所述板带固定杆固定设于下板带上，所述限位件增高垫设于下板带限位轨道下方，所述限位件增高垫设有多组，所述多组限位件增高垫均匀分布在下板带限位轨道下方。

进一步地，所述下板带的弧形半径和轨道凹槽的弧形半径相等。

进一步地，所述下板带两端设有轴承安装孔，所述轴承安装孔的中间设有轴承安装轴，所述限位轴承设于轴承安装轴上。

进一步地，所述限位轴承的外径等于轨道凹槽的宽度。

进一步地，所述工件杆底端设有工件杆限位套，所述工件杆限位套套设于下板带上，所述工件杆与工件杆限位套可拆卸连接。

进一步地，所述板带固定杆底端与下板带通过螺栓连接。

进一步地，所述限位件增高垫上设有轨道绝缘垫、固定螺母、绝缘螺母垫，所述轨道绝缘垫设于限位件增高垫上表面，所述固定螺母穿过下板带限位轨道和轨道绝缘垫与限位件增高垫上表面连接，所述绝缘螺母垫设于固定螺母和下板带限位轨道之间。

采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下：本方案板带的限位防摆动机构通过设置下板带限位轨道以及限位轴承，实现工件杆绕靶材公转时下板带也可以进行严格的限位，从而保证工件杆不会出现晃动，距离靶材的距离始终保持固定；下板带限位轨道和限位件增高垫之间有轨道绝缘垫和绝缘螺母垫，从而保证在工件杆上加偏电压时不会与镀膜炉之间产生漏电现象。

附图说明

图1为本实用新型板带的限位防摆动机构结构示意图。

其中，1、工件杆，2、下板带，3、板带固定杆，4、下板带限位轨道，5、限位轴承，6、限位件增高垫，7、轨道凹槽，8、轴承安装孔，9、轴承安装轴，10、工件杆限位套，11、轨道绝缘垫，12、固定螺母，13、绝缘螺母垫。

具体实施方式

结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。