[实用新型]一种响应升降台

说明书

本实用新型公开了一种响应升降台，所述升降台包括升降块，所述升降块下方嵌设有楔形块，所述楔形块下方安装有直线电机；所述升降块的下侧面为斜面，所述斜面与所述楔形块的倾斜角度相同；所述升降块的两侧边分别延伸设有挡板；所述底板上固定有支架，所述支架通过第一安装板安装有柔性限位装置，所述柔性限位装置的另一端通过第二安装板安装在所述挡板外侧面；所述底板上还固定有外壳，所述外壳上端处设有向内的折边，所述折边围绕所述升降块上端设置。本实用新型利用楔形块实现工作台的升降，提高工作台的承载力，降低加工成本，运行噪音较小。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是一种响应升降台。

背景技术

在半导体加工技术领域，需要用到高精度定位要求的精密测量仪器、精密装配机等，并且还需要在上述的设备上安装定位工作台，以满足X方向或者Y方向或者Z方向的定位，其中Z方向上的定位一般是使用丝杠开实现升降定位，但是丝杠升降定位存在着承载力低、加工成本高、运行噪音大等缺点，因此不能广泛应用于半导体加工行业。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种一种响应升降台，本实用新型利用楔形块实现工作台的升降，提高工作台的承载力，降低加工成本，运行噪音较小。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种响应升降台，所述升降台包括升降块，所述升降块下方嵌设有楔形块，所述楔形块下方安装有直线电机；

所述升降块的下侧面为斜面，所述斜面与所述楔形块的倾斜角度相同；所述升降块的两侧边分别延伸设有挡板；

所述楔形块上侧面两端分别开有上滑槽，所述上滑槽内安装有上导轨，所述上导轨与所述升降块连接，所述上导轨的倾斜角度与所述斜面的倾斜角度相同；所述楔形块的两侧边分别延伸设有滑块，所述滑块的上侧面倾斜且倾斜角度与所述斜面的倾斜角度相同，所述滑块的下侧面两端分别开有下滑槽，所述下滑槽内安装有下导轨，所述下导轨水平设置，所述下导轨固定在底板上；所述楔形块的下方开有凹槽，所述凹槽内安装所述直线电机，所述直线电机水平设置；

所述底板上固定有支架，所述支架通过第一安装板安装有柔性限位装置，所述柔性限位装置的另一端通过第二安装板安装在所述挡板外侧面；

所述底板上还固定有外壳，所述外壳上端处设有向内的折边，所述折边围绕所述升降块上端设置。

进一步地，所述挡板位于所述楔形块的外侧；所述挡板位于所述滑块的上方。

进一步地，所述上导轨采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述下导轨采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述凹槽侧壁上还固定有光栅尺，所述光栅尺匹配有读数头，所述读数头固定在所述底板上。

进一步地，所述外壳上安装有线缆接头。

进一步地，所述底板的长度大于所述楔形块的长度。

进一步地，所述柔性限位装置采用钢带。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型设置楔形块与升降块，并且升降块下侧面设置成斜面，利用楔形块的倾斜平面将其自身的水平运动转换成升降块的上下运动，将水平面的运动方向转成Z方向的定位，实现升降台的运动和定位；

2、本实用新型设置上导轨以及下导轨，楔形块利用下导轨实现水平直线运动，升降块利用上导轨和楔形块实现上下运动，保证运动的稳定性以及直线性；

3、本实用新型设置钢带，利用钢带本身只有一个方向的延展性，保证升降块只做上下运动，不会左右或者倾斜运动。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的升降台示意图；