[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及

贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，

其中，所述膜片包括弹簧结构，所述膜片的弹簧结构为同心环形或者螺旋状的褶皱部分。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋状的弹簧结构包括至少一条螺旋纹，所述螺旋纹从所述膜片的中间部分向外部辐射。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片的中间部分向下凹陷，所述中间部分向下凹陷的深度和所述螺旋纹的深度相同。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋纹绕所述膜片的中间部分旋转对称。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋纹的曲率半径随位置变化而不变化。

6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋纹的曲率半径随位置变化而变化。

7.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋纹的曲率中心随位置变化而不变化。

8.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述螺旋纹的曲率中心随位置变化而变化。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹簧结构位于整个膜片中。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

位于所述膜片和所述衬底之间的第一隔离层，所述声腔贯穿所述第一隔离层；以及

位于所述背极板电极和所述膜片之间的第二隔离层，

其中，所述膜片的周边部分的至少部分区域被夹持在所述第一隔离层和所述第二隔离层之间。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

第一保护层和第二保护层，所述背极板电极位于所述第一保护层和所述第二保护层之间，所述第一保护层位于所述第二隔离层与所述背极板电极之间。

12.根据权利要求11所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

多个释放孔，所述多个释放孔贯穿所述第一保护层、所述背极板电极和所述第二保护层；以及

空腔，位于所述第二隔离层中，所述空腔与所述释放孔连通，并且所述空腔暴露所述膜片的第一表面。

13.根据权利要求12所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述多个释放孔排列成矩形阵列或者错开的矩形阵列或者圆形阵列。

14.根据权利要求11所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

第一引线，穿过所述第二保护层、所述第一保护层、以及所述第二隔离层到达所述膜片的第一表面；以及

第二引线，穿过所述第二保护层到达所述背极板电极的第二表面。

15.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述同心环形包括1至6个圆环形。