[实用新型]一种大口径平面干涉仪载物台

说明书

本实用新型公开了一种大口径平面干涉仪载物台，涉及平面干涉仪设备技术领域，包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；俯仰台设置在支架底板上，固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，第一固定支脚和第二固定支脚设在支架底板与俯仰台之间，第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设置在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧；可调节支脚设置在支架底板与支架底板与俯仰台之间，可调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧，第一固定支脚、第二固定支脚与可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；检测组件包括标准尺、匹配尺，匹配尺垂直于俯仰台。采用本实用新型，可以精密地调节载物台的俯仰角度。

技术领域

本实用新型涉及平面干涉仪设备技术领域，特别涉及一种大口径平面干涉仪载物台。

背景技术

利用大口平面干涉仪测量平面元件的平面度时，需要将被测元件竖起来，并且需要调整被测元件与干涉仪标准镜之间的角度，使得他们之间的夹角接近0度，也就是使它们接近绝对平行，要使得调整精度如此之高就需要高精密的载物台，目前，无法实现简便、精密地调节载物台的俯仰角度。

实用新型内容

本实用新型通过调整标准尺与匹配尺的相对位置，确定匹配尺呈竖直状态，进而确定与匹配尺垂直的俯仰台呈水平状态，解决了现有技术无法简便、精密调节俯仰台俯仰角度的问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种大口径平面干涉仪载物台，所述大口径平面干涉仪载物台包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；

所述俯仰台设置在所述支架底板上，所述固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述支架底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设置在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；

所述可调节支脚设置在所述支架底板与所述支架底板与所述俯仰台之间，所述可调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；

所述检测组件包括标准尺、匹配尺，所述匹配尺固定在所述俯仰台的下侧，且所述匹配尺垂直于所述俯仰台，所述标准尺的一端铰接在所述俯仰台的下侧，所述标准尺的另一端为自由端。

可选地，所述标准尺的宽度大于所述匹配尺的宽度，所述标准尺上设置有刻度。

可选地，还包括调整台，所述调整台设置于所述俯仰台的上面，所述调整台相对于所述俯仰台可转动调整角度。

可选地，还包括角度调整组件，所述角度调整组件设置在调整台与所述俯仰台之间，所述角度调整组件的角度调整轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述调整台相连，使得所述调整台相对于所述俯仰台可转动调整角度。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

本实用新型实施例中，将标准尺的自由端自由方式，使得标准尺可以在左右方向上自由转动，对比标准尺与匹配尺的位置，调整可调节支脚的高度，使得匹配尺竖直方向上的中心线与标准尺竖直方向上的中心线重合，确定匹配尺呈竖直方向，这样，与匹配尺垂直的俯仰台即为水平方向。这样，可以将俯仰台调整为水平状态，由此可以测量平面元件的平面度。通过本实用新型，可以简单便捷且高效地调整俯仰台的平面度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种大口径平面干涉仪载物台的结构示意图；