[实用新型]一种检测装置

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于该检测装置包括一个源测量单元和一个感应器件及其连接件,其中感应器件是硅基集成电路工艺制造的芯片器件，依次包括衬底底层、隔绝层、导电层、纳米材料层、钝化层、导出电极，其中纳米材料层增强光吸收并释放热量以提高灵敏度,感应器件的导电层连接出两个电极,接至源测量单元的输入输出端，源测量单元向感应器件输入扫描电压并测量电流信号，在有无光信号激励时反应不同，从而实现检测。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件的衬底层是由包括单晶或者多晶硅片或有机薄膜的固体或柔性材料组成，感应器件的隔绝层是绝缘的材料组成，包括氧化硅、氮化硅，感应器件是导电层是由厚度为5nm至1000nm的导电材料组成，包括非晶硅、金属、纳米点、氧化钒半导体材料，钝化层是氧化硅。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件中所用纳米材料包括纳米棒、纳米球、纳米线形状的纳米粒子,纳米粒子是具有受控密度的对准或随机取向的，感应器件中的纳米材料层是单层的或者多层纳米材料重叠的方式以提高器件性能，纳米材料层中间包括连接层。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件的导电层连接出两个电极，电极连接至源测量单元的输入输出端，源测量单元向感应器件输入扫描电压并测量电流信号，在有无光信号激励时反应不同，从而实现检测。